[發明專利]用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物

無效

• 申請號: 201110202425.7
• 申請日: 2011-07-08
• 公開（公告）號: CN102314101A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 洪憲杓;尹嚆重;房淳洪;李承傭
• 申請（專利權）人: 東友FINE-CHEM股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/00
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220
• 代理人: 鄭立;高為華

1.一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包含：基于所述組合物的總量，

0.1～10wt％的氫氧化季銨，所述氫氧化季銨由下列分子式1表示；

50～90wt％的乙二醇醚化合物；

7～30wt％的丙三醇；和

剩余的水；

[N-(R)₄]⁺·OH^-??----分子式1

其中R是碳原子為1至5中的烷基。

2.根據權利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述氫氧化季銨選自由氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、氫氧化四丙銨、和氫氧化四丁銨所組成的組中的至少一種。

3.根據權利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述乙二醇醚化合物由下列分子式2表示：

R-O-(CH₂CH₂O)_nH??------分子式2

其中R是碳原子為1至5的烷基，并且n是1至5中的整數。

4.根據權利要求3的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述的由上述分子式2表示的乙二醇醚化合物選自由乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、和三乙二醇單甲醚所組成的組。

5.根據權利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述組合物不包含防腐蝕劑。

6.根據權利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述組合物不包含含氟化合物。

7.一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法，包含使用權利要求1至6中的任意一種所述清洗劑組合物清洗基板的工藝。