[發明專利]一種消除光學纖維面板暗網格被輸出的像增強器結構

有效

• 申請號: 201110196972.9
• 申請日: 2011-07-14
• 公開（公告）號: CN102306601A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發明（設計）人: 李曉峰;許有毅;瞿利平;楊文波;陳衛軍
• 申請（專利權）人: 北方夜視技術股份有限公司
• 主分類號: H01J31/50
• 分類號: H01J31/50;H01J29/04;H01J29/89;H01J9/00;C23C14/08;C23C14/30
• 代理公司: 昆明今威專利代理有限公司 53115
• 代理人: 邵會昌;趙云

一、技術領域

本發明屬于一種提高微光像增強器成像質量的結構，主要用于以光學纖維面板作為輸入窗的微光像增強器，消除光學纖維面板存在的暗網格缺陷被輸出的技術問題。?

二、背景技術

光學纖維面板(以下簡稱光纖面板)是由上百萬根纖維絲所組成的二維傳像束陣列。他常用于作為微光像增強器的輸入窗。現有的以光纖面板作為輸入窗的微光像增強器結構(圖1)，主要由輸入窗光纖面板1、光電陰極2、微通道板(MCP)3、熒光屏4、陽極輸出窗5組成。光纖面板的作用是將通過光學鏡頭成像在它表面上的圖像傳輸到像增強器管子內部的光電陰極2上，使光電陰極產生電子圖像以便于微通道板(MCP)3進行倍增。由于光纖面板本身制造工藝的原因，光纖面板會存在一些缺陷，如暗網格，或稱復絲暗影，暗網格是在纖維絲之間存在的一種六角形的暗邊界，該六角形的暗邊界在光纖面板傳像過程中會疊加在光纖面板傳輸的圖像上，從而造成圖像失真，模糊不清。因此對于像增強器制造廠來講，希望在使用光纖面板之前對該缺陷進行檢驗，將存在該缺陷的光纖面板剔除，來保證像增強器的成像質量。然而到目前為止，還沒有找到一種有效的方法將存在暗網格的光纖面板在檢驗時被剔除。制造出的像增強器從陽極輸出窗5觀察輸出圖像時，發現相當一部分光纖面板存在著暗網格，這種暗網格疊加在圖像上，嚴重影響到微光像增強器成像質量和其整機夜視儀的使用效果。?

三、發明內容

本發明的主要任務和目的是，根據光纖面板存在的缺陷，對以光纖面板作為輸入窗的微光像增強器，在光電陰極部分設計一種新的結構，來代替原來的結構，從根本上消除光纖面板暗網格缺陷被輸出的現象，有效地提高微光像增強器成像質量，滿足使用要求。?

本發明的主要技術方案是：在像增強器的輸入窗光纖面板的內表面和光電陰極之間鍍制一層二氧化硅膜層，厚度為?輸入窗光纖面板的內表面、二氧化硅膜層及光電陰極連為一體。其中鍍制二氧化硅膜層的工藝流程(見圖3)：?

A、鍍膜前的準備，將光纖面板進行清洗，并用酒精脫水烘干，而后放入鍍膜機的蒸鍍夾具上固定，并使蒸鍍膜層的一面正好對向蒸發源；?

B、抽真空，關閉鐘罩，抽真空至壓強低于4×10^-6mbar；?

C、輝光放電，進行輝光放電的電流為200mA，輝光放電期間的壓強保持在2×10^-2至4×10^-2mbar之間，時間為10分鐘；?

D、繼續抽真空，輝光放電結束后，再抽真空，使鍍膜機的真空度再次低于4×10^-6mbar；?

E、材料除氣，打開電子槍高壓，當電子槍的燈絲被點亮時，調節電子槍發射電流，對SiO₂蒸鍍材料進行除氣，時間為10秒；?

F、鍍制膜層，當除氣結束后，進一步調節電子槍的發射電流，使SiO₂的蒸發速率為0.5nm/s，當晶體測厚儀的讀數達到?時，關閉電子槍高壓，停止工件旋轉，冷卻10分鐘后，關閉鍍膜機，取出工件。?

本發明通過實際試用證明：完全達到研制目的，微光像增強器輸出圖像時，無光纖面板暗網格輸出，合格率達到100％，明顯地提高或改善了微光像增強器成像質量和其整機夜視儀的使用效果。其他參數如陰極靈敏度、增益、分辨力技術指標等不受光纖面板內表面及光電陰極結構改變的影響。?

四、附圖說明

下面結合附圖，對本發明作進一步詳細地描述。?

圖1，是現有以光纖面板作為輸入窗的微光像增強器的結構示意圖。?

圖2，是本發明的結構示意圖。?

圖3，是本發明鍍制二氧化硅(SiO₂)膜層的工藝流程圖。?

五、具體實施方式

參照圖2，對本發明的主要技術方案進行具體說明：對以光纖面板作為輸入窗的微光像增強器，在輸入窗光纖面板1的內表面和光電陰極2之間鍍制一層二氧化硅(SiO₂)膜層6，厚度為?輸入窗光纖面板1的內表面、二氧化硅膜層6及光電陰極2連為一體。其中鍍制二氧化硅膜層的工藝流程同上。?

所述的鍍膜機，是采用普通的電真空器件鍍膜機。?

所述的二氧化硅(SiO₂)純度99.99％，市場上可購置。?