[發明專利]一種消除光學纖維面板暗網格被輸出的像增強器結構有效
| 申請號： | 201110196972.9 | 申請日： | 2011-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN102306601A | 公開（公告）日： | 2012-01-04 |
| 發明（設計）人： | 李曉峰;許有毅;瞿利平;楊文波;陳衛軍 | 申請（專利權）人： | 北方夜視技術股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J31/50 | 分類號： | H01J31/50;H01J29/04;H01J29/89;H01J9/00;C23C14/08;C23C14/30 |
| 代理公司： | 昆明今威專利代理有限公司 53115 | 代理人： | 邵會昌;趙云 |
| 地址： | 650114 云南*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 消除 光學 纖維 面板 網格 輸出 增強 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種消除光學纖維面板暗網格被輸出的像增強器結構，含輸入窗光纖面板(1)、光電陰極(2)、微通道板(3)、熒光屏(4)、陽極輸出窗(5)，其特征在于：在輸入窗光纖面板(1)的內表面和光電陰極(2)之間鍍制一層二氧化硅膜層(6)，厚度為?，輸入窗光纖面板(1)的內表面、二氧化硅膜層(6)及光電陰極(2)連為一體，其中鍍制二氧化硅膜層(6)的工藝流程：
A、鍍膜前的準備，將光纖面板進行清洗，并用酒精脫水烘干，而后放入鍍膜機的蒸鍍夾具上固定，并使蒸鍍膜層的一面正好對向蒸發源；
B、抽真空，關閉鐘罩，抽真空至壓強低于4×10-6mbar；
C、輝光放電，進行輝光放電的電流為200mA，輝光放電期間的壓強保持在2×10-2至4×10-2mbar之間，時間為10分鐘；
D、繼續抽真空，輝光放電結束后，再抽真空，使鍍膜機的真空度再次低于4×10-6mbar；
E、材料除氣，打開電子槍高壓，當電子槍的燈絲被點亮時，調節電子槍發射電流，對SiO2蒸鍍材料進行除氣，時間為10秒；
F、鍍制膜層，當除氣結束后，進一步調節電子槍的發射電流，使SiO2的蒸發速率為0.5nm/s，當晶體測厚儀的讀數達到?時，關閉電子槍高壓，停止工件旋轉，冷卻10分鐘后，關閉鍍膜機，取出工件。?
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