[發明專利]工件臺

有效

• 申請號: 201110191799.3
• 申請日: 2011-07-08
• 公開（公告）號: CN102866587A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 陳軍;袁志揚;秦磊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及一種精密工件臺，且特別涉及一種具有線纜交換裝置的工件臺。

背景技術

隨著超大規模集成電路器件集成度的不斷提高，光刻分辨率的不斷增強，對光刻機的特征線寬指標要求也在不斷提升，對應的工件臺的運行速度、加速度以及精度要求也不斷提高，并且工件臺的復雜程度也在不斷提高，工件臺的運動大多數情況都是采用一系列垂向或水平向電機來驅動，并采用氣浮導向，傳感器檢測的系統。整個系統需要配套大量的通信線纜、功率線纜以及氣管、水管等等，以實現對工件臺系統的供電、供氣、供水以及控制等功能。

在工件臺運動過程中，一些電纜、管路會跟隨工件臺作同步往復運動，由于光刻設備工件臺精度要求較高，通常要求達到納米級定位精度，這就使得電纜、管路等在隨工件臺一起運動時對平臺產生的擾動力不可忽略。

隨著光刻技術的發展，工件臺的運動定位精度也越來越高，其復雜程度也不斷提高，配套的管線設施也不斷增加，尤其對于雙工件臺系統，在提升光刻生產率的同時，系統結構變得更加復雜，對應的線纜、管路的數量更多，由于承片臺結構緊湊，內部空間有限，且零部件密集程度較高，管線易與框架、工件臺其他部件等產生接觸摩擦，產生非線性摩擦力，進而影響工件臺系統的運動定位精度。此外，管線長時間與其他部件接觸、摩擦，會導致管線斷裂，影響整個工件臺系統的穩定性和可靠性。再者，雙工件臺系統中位于測量位和曝光位的兩承片臺在工作過程中需要進行位置交換，對應于各承片臺的電纜、管路也需要隨承片臺一起進行交換，這就需要設計特定的線纜交換裝置來完成上述工作。

發明內容

本發明提出一種工件臺，其具有線纜交換裝置，能夠解決上述問題。

為了達到上述目的，本發明提出一種工件臺，包括：

第一承片臺；

第一X向線纜，一端固定在第一承片臺上；

第一Y向線纜，一端固定在工件臺上；

第一Y向滑臺，選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動；

第二Y向滑臺，選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動；以及

第一線纜交換裝置，連接第一X向線纜和第一Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨第一Y向滑臺或第二Y向滑臺沿Y向運動。

進一步說，工件臺還包括：

第二承片臺；

第二X向線纜，一端固定在第二承片臺上；

第二Y向線纜，一端固定在工件臺上；

第三Y向滑臺，選擇性地連接于第二承片臺，以帶動第二承片臺沿Y向移動；

第四Y向滑臺，選擇性地連接于第二承片臺，以帶動第二承片臺沿Y向移動；以及

第二線纜交換裝置，連接第一X向線纜和第一Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨第三Y向滑臺或第四Y向滑臺沿Y向運動。

進一步說，工件臺還包括：

第一X向導軌，兩端分別固定于第一Y向滑臺和第三Y向滑臺；

第一X向滑臺，選擇性地夾持第一承片臺或第二承片臺，第一X向滑臺可移動地設置在第一X向導軌上；以及

第二X向導軌，兩端分別固定于第二Y向滑臺和第四Y向滑臺；

第二X向滑臺，選擇性地夾持第一承片臺或第二承片臺，第二X向滑臺可移動地設置在第二X向導軌上。

進一步說，第一線纜交換裝置包括：

主體，連接第一X向線纜和第一Y向線纜的另一端；

安全掛鉤，可轉動地連接于主體；

第一限位銷，固定于第一Y向滑臺上；以及

第二限位銷，固定于第二Y向滑臺上，

其中安全掛鉤選擇性地與第一限位銷或第二限位銷卡合，用以當所述第一線纜交換裝置運動控制失效時，保持所述第一線纜交換裝置與所述第一Y向滑臺或所述第二Y向滑臺的距離。

進一步說，第一線纜交換裝置還包括電機，安全掛鉤利用電機轉動。

進一步說，第一線纜交換裝置還包括驅動電機，用以驅動第一線纜交換裝置沿Y向運動。

本發明提出的工件臺，其包括線纜交換裝置，用于承載并驅動承片臺的各種線纜、管路，保證其跟隨承片臺作同步往復運動并實現雙臺交換，可極大地減小電纜、管路等配套設施工作過程中產生的擾動對工件臺運動定位精度的影響，縮短雙臺交換的時間，提高光刻生產效率。

附圖說明

圖1所示為本發明較佳實施例的工件臺側視圖。

圖2所示為本發明較佳實施例的工件臺俯視圖。

具體實施方式

為了更了解本發明的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。