[發(fā)明專利]工件臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110191799.3 | 申請(qǐng)日： | 2011-07-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102866587A | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳軍;袁志揚(yáng);秦磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 工件 | ||
1.一種工件臺(tái)，其特征是，包括：
第一承片臺(tái)；
第一X向線纜，一端固定在所述第一承片臺(tái)上；
第一Y向線纜，一端固定在所述工件臺(tái)上；
第一Y向滑臺(tái)，選擇性地連接于所述第一承片臺(tái)，以帶動(dòng)所述第一承片臺(tái)沿Y向移動(dòng)；
第二Y向滑臺(tái)，選擇性地連接于所述第一承片臺(tái)，以帶動(dòng)所述第一承片臺(tái)沿Y向移動(dòng)；以及
第一線纜交換裝置，連接所述第一X向線纜和所述第一Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨所述第一Y向滑臺(tái)或所述第二Y向滑臺(tái)沿Y向運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)，其特征是，還包括：
第二承片臺(tái)；
第二X向線纜，一端固定在所述第二承片臺(tái)上；
第二Y向線纜，一端固定在所述工件臺(tái)上；
第三Y向滑臺(tái)，選擇性地連接于所述第二承片臺(tái)，以帶動(dòng)所述第二承片臺(tái)沿Y向移動(dòng)；
第四Y向滑臺(tái)，選擇性地連接于所述第二承片臺(tái)，以帶動(dòng)所述第二承片臺(tái)沿Y向移動(dòng)；以及
第二線纜交換裝置，連接所述第二X向線纜和所述第二Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨所述第三Y向滑臺(tái)或所述第四Y向滑臺(tái)沿Y向運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件臺(tái)，其特征是，還包括：
第一X向?qū)к墸瑑啥朔謩e固定于所述第一Y向滑臺(tái)和所述第三Y向滑臺(tái)；
第一X向滑臺(tái)，選擇性地夾持所述第一承片臺(tái)或所述第二承片臺(tái)，所述第一X向滑臺(tái)可移動(dòng)地設(shè)置在所述第一X向?qū)к壣希灰约?/p>
第二X向?qū)к墸瑑啥朔謩e固定于所述第二Y向滑臺(tái)和所述第四Y向滑臺(tái)；
第二X向滑臺(tái)，選擇性地夾持所述第一承片臺(tái)或所述第二承片臺(tái)，所述第二X向滑臺(tái)可移動(dòng)地設(shè)置在所述第二X向?qū)к壣稀?/p>
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)，其特征是，所述第一線纜交換裝置包括：
線纜承載臺(tái)，一側(cè)連接于所述第一X向線纜的另一端上，另一側(cè)連接于所述第一Y向線纜的另一端；
安全掛鉤，可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述線纜承載臺(tái)；
第一限位銷，固定于所述第一Y向滑臺(tái)上；以及
第二限位銷，固定于所述第二Y向滑臺(tái)上，
其中所述安全掛鉤選擇性地與所述第一限位銷或所述第二限位銷卡合，用以當(dāng)所述第一線纜交換裝置運(yùn)動(dòng)控制失效時(shí)，保持所述第一線纜交換裝置與所述第一Y向滑臺(tái)或所述第二Y向滑臺(tái)的距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件臺(tái)，其特征是，所述第一線纜交換裝置還包括電機(jī)，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述安全掛鉤轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件臺(tái)，其特征是，所述第一線纜交換裝置還包括緩沖器，所述緩沖器用以防止所述安全掛鉤運(yùn)動(dòng)控制失效時(shí)，第一線纜交換裝置與第一Y向滑臺(tái)或第二滑臺(tái)相撞。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件臺(tái)，其特征是，所述第一線纜交換裝置還包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用以驅(qū)動(dòng)所述第一線纜交換裝置沿Y向運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件臺(tái)，其特征是，所述線纜承載臺(tái)安裝有垂向和側(cè)向氣浮，垂向氣浮剛度承載第一X向線纜和第一Y向線纜的重力，側(cè)向氣浮剛度承載第一X向線纜和第一Y向線纜Rz向的沖擊載荷。
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