[發(fā)明專利]基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110187030.4
• 申請日: 2011-07-05
• 公開（公告）號: CN102866374A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海東;顧浩琦;丁雪龍
• 申請（專利權(quán)）人: 美新半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 無錫互維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種磁傳感器的測試方法及其系統(tǒng)，尤其涉及一種基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著消費(fèi)類電子功能的日益擴(kuò)展，傳感器的應(yīng)用逐步普及，并且磁傳感器已經(jīng)成為一些手持類電子產(chǎn)品的標(biāo)配。

由于磁傳感器的特殊性，一般的生產(chǎn)商都采用特制的測試系統(tǒng)進(jìn)行生產(chǎn)、測試。這樣不僅大大提高了磁傳感器的成本，而且不利于磁傳感器的推廣與運(yùn)用。

目前，為了測試磁傳感器，需要制作一個安裝磁傳感器的測試夾具(socket)。通常的做法是，把三十二個測試夾具做成一塊測試板，將該測試板固定在一個轉(zhuǎn)動的平臺上，通過伺服電機(jī)控制平臺轉(zhuǎn)動，從而控制測試板轉(zhuǎn)動到與地球磁場合適的位置，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對磁傳感器的信號量的測試。這種測試方法需要控制平臺來回轉(zhuǎn)動若干個位置以便找到與地球磁場合適的位置，測試時間比較長，而且測試精度、測試穩(wěn)定性均受到測試夾具的精度和整個動態(tài)系統(tǒng)的影響；另外，每次測試都需要一個個把磁傳感器從測試夾具里放入、取出，測試效率低，再加上機(jī)器自動裝卸的不便，導(dǎo)致需要更多的人工操作，由此人工錯誤相應(yīng)更多，嚴(yán)重制約測試的品質(zhì)。

因此，確有必要提供一種新的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)來克服現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)效率低、穩(wěn)定性差、成本高的缺陷。本發(fā)明提供一種基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)，其利用探針實(shí)現(xiàn)磁傳感器的測試，改變了傳統(tǒng)測試需要測試夾具的限制，大大提高測試效率，并有效降低測試成本，有利于磁傳感器的大規(guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所提出的技術(shù)方案是：一種基于探針的磁傳感器測試方法，其包括以下步驟：

根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；

在X軸上設(shè)置至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強(qiáng)度；

根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計(jì)算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；

通過電機(jī)控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。

進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法，還可以應(yīng)用于測試多軸磁傳感器，例如，兩軸磁傳感器、三軸磁傳感器。

進(jìn)一步的，在一個測試兩軸磁傳感器的實(shí)施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法，其包括以下步驟：

根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；

在X、Y軸上分別設(shè)置至少一個磁線圈，通過控制X、Y軸磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X、Y軸上的磁場方向及磁場強(qiáng)度；

根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計(jì)算出待測磁傳感器X、Y軸的偏置輸出和/或靈敏度；

通過電機(jī)控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。

進(jìn)一步的，在一個測試三軸磁傳感器的實(shí)施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法，其包括以下步驟：

根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；

在X、Y、Z軸上分別設(shè)置至少一個磁線圈，通過控制X、Y、Z軸磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X、Y、Z軸上的磁場方向及磁場強(qiáng)度；

根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計(jì)算出待測磁傳感器X、Y、Z軸的偏置輸出和/或靈敏度；

通過電機(jī)控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。

其中，在不同實(shí)施方式中，通過控制X、Y或Z軸磁線圈的電流大小和方向來控制所述測試臺X、Y或Z軸上的磁場方向及磁場強(qiáng)度的步驟，具體為：

改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)正方向的預(yù)定磁場強(qiáng)度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X1(或Y1，或Z1)；

改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流方向，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)反方向的磁場；

改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)反方向的預(yù)定磁場強(qiáng)度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X2(或Y2，或Z2)。