[發明專利]基于探針的磁傳感器測試方法及其系統

有效

• 申請號: 201110187030.4
• 申請日: 2011-07-05
• 公開（公告）號: CN102866374A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 劉海東;顧浩琦;丁雪龍
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.一種基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：其包括以下步驟：

根據待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；

在X軸上設置至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；

根據待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；

通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。

2.如權利要求1所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：所述通過控制X軸磁線圈的電流大小和方向來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度的步驟，具體為：

改變通過X軸磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產生沿X軸正方向的預定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X1；

改變通過X軸磁線圈的電流方向，在待測磁傳感器周圍產生沿X軸反方向的磁場；

改變通過X軸磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產生沿X軸反方向的預定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X2。

3.如權利要求2所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：所述計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出的方法為，X偏置輸出＝(X1+X2)/2。

4.如權利要求2所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：所述計算出待測磁傳感器X軸的靈敏度的方法為，X靈敏度＝(X1-X2)/2/該位置X補償系數。

5.如權利要求1所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：其還包括在Y軸上設置至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Y軸上的磁場方向及磁場強度。

6.如權利要求5所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：其還包括在Z軸上設置至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Z軸上的磁場方向及磁場強度。

7.如權利要求1所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于：所述待測磁傳感器陣列排布在所述測試臺上，每次在測試臺上陣列排布的所有待測磁傳感器測試完畢之后，生成陣列圖。

8.一種用于實施如權利要求1所述的基于探針的磁傳感器測試方法的測試系統，其特征在于：所述基于探針的磁傳感器測試系統包括：

測試臺，待測磁傳感器放置在所述測試臺上，所述測試臺可通過電機控制移動；

包括探針的探針卡，所述探針卡根據待測磁傳感器的電路制作而成，通過電機控制探針卡移動進而控制探針與測試臺上的待測磁傳感器接觸；

位于X軸上的至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；和

數據處理裝置，根據待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。

9.如權利要求8所述的基于探針的磁傳感器測試系統，其特征在于：其還包括位于Y軸上的至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Y軸上的磁場方向及磁場強度。

10.如權利要求9所述的基于探針的磁傳感器測試系統，其特征在于：其還包括位于Z軸上的至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Z軸上的磁場方向及磁場強度。