[發(fā)明專利]一種離子源的絕緣裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110186465.7 | 申請(qǐng)日： | 2011-07-05 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102867719A | 公開（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡寶富;唐景庭;伍三忠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/08 | 分類號(hào)： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市中關(guān)村科*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 離子源 絕緣 裝置 | ||
1.一種用于離子注入機(jī)的離子源絕緣裝置，和離子注入機(jī)用離子源一起使用。該離子源可以產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束。該裝置為使其正常工作隔離高壓電位和地電位。該裝置主要包括：離子源(1)、法蘭聯(lián)接桿(2)、源安裝法蘭(3)、引出絕緣環(huán)(4)、源法蘭(5)、屏蔽筒(6)和真空室(7)等。
2.如權(quán)力要求1所述的一種用于離子注入機(jī)的離子源絕緣裝置，該裝置特征在于，采用特別的引出絕緣環(huán)(4)安裝于源安裝法蘭(3)和源法蘭(5)之間，可以很好的保護(hù)高壓電位和地電位。
3.如權(quán)力要求1所述的一種用于離子注入機(jī)的離子源絕緣裝置，該裝置特征在于，源安裝法蘭(3)和源法蘭(5)間利用法蘭聯(lián)接桿(2)聯(lián)接。
4.如權(quán)力要求2所述的一種用于離子注入機(jī)的離子源絕緣裝置，其特征在于：引出絕緣環(huán)(4)采用絕緣材料加工，內(nèi)表面形成規(guī)則起伏的形狀，用于增加表面面積。
5.如權(quán)力要求3所述的一種用于離子注入機(jī)的離子源絕緣裝置，其特征在于：法蘭聯(lián)接桿(2)采用絕緣材料制造。
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