[發明專利]一種檢測晶片的調節裝置

無效

• 申請號: 201110186455.3
• 申請日: 2011-07-05
• 公開（公告）號: CN102866432A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 林萍;伍三忠;彭立波
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G01V8/12
• 分類號: G01V8/12;H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種檢測晶片的調節裝置，在檢測機械手上是否有無晶片的調節裝置中得到充分的應用。

背景技術

離子注入機是一種通過引導雜質注入半導體晶片，從而改變晶片的傳導率的設備，其中，雜質注入的深度和密度的均勻性都直接決定了注入晶片的品質。在晶片傳送的過程中，我們采用機械手臂來傳送晶片，首先晶片是放在片庫的晶片盒子里，需要通過機械手將晶片取出來放到片庫中，其次，在等到機械手把片庫中的晶片取出來，當在機械手腔中時，系統需要檢測機械手臂上是否有晶片，此時激光器發出激光，接收器判斷是否接收到激光，若接收到激光，表示機械手上無晶片，進入等待過程，接收器沒有接收到激光時，則有晶片在機械手上，進入相應下一步的操作。判斷機械手上是否有晶片對于下一步的操作是非常重要的，通過判斷是否有晶片來決定機械手臂是否傳送晶片。

發明內容

本發明通過以下技術方案實現：

1.一種檢測晶片的調節裝置，包括：2個調節螺釘(1)、1個固定螺釘(2)、1個激光器(3)、1個接收器(4)。其特征在于，

其中所述調節螺釘(1)用來調節激光座子的位置。激光座位置決定激光器(3)發出的激光，當調節螺釘旋轉到特定的位置，激光在無晶片的情況下，接收器接收到激光的位置。

2.一種檢測晶片的調節裝置，包括：2個調節螺釘(1)、1個固定螺釘(2)、1個激光器(3)、1個接收器(4)。其特征在于，

其中所述固定螺釘(2)固定整個調節裝置，當調節螺釘確定之后，擰緊固定螺釘。此調節裝置安裝完畢。

附圖說明

圖1是本發明的一種檢測晶片的發射調節裝置結構圖。

圖2是本發明的一種檢測晶片的接收裝置結構圖。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細描述：

該裝置包括：2個調節螺釘(1)、1個固定螺釘(2)、1個激光器(3)、1個接收器(4)。此裝置中激光器(3)的激光隨著調節螺釘(1)的松動而變化方向，首先調整調節螺釘(1)，兩個調節螺釘(1)交換調節，直至激光器(3)的激光在無晶片的情況下，接收器(4)接收到激光。就表明調節螺釘(1)調整完畢，其次在擰緊固定螺釘(2)。固定螺釘(2)用來固定此調節裝置。固定激光器座子。

本發明的特定實施例已對發明內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明原理的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。