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[發(fā)明專利]一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201110186455.3 申請日: 2011-07-05
公開(公告)號(hào): CN102866432A 公開(公告)日: 2013-01-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 林萍;伍三忠;彭立波 申請(專利權(quán))人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號(hào): G01V8/12 分類號(hào): G01V8/12;H01L21/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 101111 北京市中關(guān)村科*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 檢測 晶片 調(diào)節(jié) 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,其特征在于:該裝置包括:2個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)、1個(gè)固定螺釘(2)、1個(gè)激光器(3)、1個(gè)接收器(4)。其特征在于:激光器(3)的激光隨著調(diào)節(jié)螺釘(1)的松動(dòng)而變化方向,此裝置要先調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘(1),兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)交換調(diào)節(jié),直至激光器(3)的激光在無晶片的情況下,接收器(4)接收到激光。就表明調(diào)節(jié)螺釘(1)調(diào)整完畢,在擰緊固定螺釘(2)。固定螺釘(2)用來固定此調(diào)節(jié)裝置。

2.權(quán)利要求1的檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,其中所述的一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘(1),兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)交換調(diào)節(jié),直至激光器(3)的激光在無晶片的情況下,接收器(4)接收到激光。

3.權(quán)利要求2的調(diào)節(jié)螺釘(1)裝置能簡單可靠的調(diào)節(jié)激光位置,而固定螺釘(2)用來固定整個(gè)調(diào)節(jié)裝置。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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