[發(fā)明專利]一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110186455.3 | 申請日: | 2011-07-05 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102866432A | 公開(公告)日: | 2013-01-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林萍;伍三忠;彭立波 | 申請(專利權(quán))人: | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01V8/12 | 分類號(hào): | G01V8/12;H01L21/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 101111 北京市中關(guān)村科*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 檢測 晶片 調(diào)節(jié) 裝置 | ||
1.一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,其特征在于:該裝置包括:2個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)、1個(gè)固定螺釘(2)、1個(gè)激光器(3)、1個(gè)接收器(4)。其特征在于:激光器(3)的激光隨著調(diào)節(jié)螺釘(1)的松動(dòng)而變化方向,此裝置要先調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘(1),兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)交換調(diào)節(jié),直至激光器(3)的激光在無晶片的情況下,接收器(4)接收到激光。就表明調(diào)節(jié)螺釘(1)調(diào)整完畢,在擰緊固定螺釘(2)。固定螺釘(2)用來固定此調(diào)節(jié)裝置。
2.權(quán)利要求1的檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,其中所述的一種檢測晶片的調(diào)節(jié)裝置,調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘(1),兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘(1)交換調(diào)節(jié),直至激光器(3)的激光在無晶片的情況下,接收器(4)接收到激光。
3.權(quán)利要求2的調(diào)節(jié)螺釘(1)裝置能簡單可靠的調(diào)節(jié)激光位置,而固定螺釘(2)用來固定整個(gè)調(diào)節(jié)裝置。
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