[發明專利]光波導路的制造方法

有效

• 申請號: 201110186062.2
• 申請日: 2011-07-01
• 公開（公告）號: CN102313926A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 內藤龍介;長藤昭子
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/138
• 分類號: G02B6/138;G02B6/122
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及在光通信、光信息處理、位置傳感器、其他的一般光學技術的領域被廣泛地使用的光波導路的制造方法。

背景技術

通常，在下敷層的表面上，將光的通路、即芯形成為規定圖案，并以覆蓋該芯的狀態形成上敷層，從而構成光波導路。特別是使上述上敷層的端部形成為透鏡部等將上敷層形成為所希望的形狀時，使用形成有凹部的成形模來形成上敷層，該凹部具有與該所希望的形狀相對應的模面(例如，參照專利文獻1)。

另外，本申請人提出有尺寸精度優異的具有透光性的樹脂制的成形模來作為上述上敷層形成用的成形模，并已經提出專利申請(日本發明專利申請2010-126714)。該成形模是如下所述那樣制作的。即、首先，準備形狀與上敷層的形狀相同的模具構件，將該模具構件設置在成形模形成用的容器內。接著，向該容器內填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化。然后，從上述容器中取出該硬化了的透光性樹脂，并使上述模具構件脫離，由此，獲得將上述模具構件的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部的透光性樹脂制的成形模。

使用上述成形模的光波導路的制作如下所述那樣進行。即、首先，向上述成形模的凹部內填充上敷層形成用的感光性樹脂。接著，將形成在下敷層的表面上的芯浸入該感光性樹脂內，并將上述下敷層按壓于上述成形模。然后，透過上述成形模使上述感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化，形成為上敷層。然后，脫模，從而獲得由上述下敷層、芯以及上敷層構成的光波導路。

專利文獻1：日本特開2008-281654號公報

在上述光波導路的上敷層形成工序中，在將形成有芯的下敷層按壓于上述成形模時，為了使上述上敷層形成用的感光性樹脂中不混入空氣，通常，向上述成形模的凹部內多填充一些感光性樹脂。因此，在將下敷層按壓于上述成形模時，過剩的感光性樹脂從凹部溢出，在凹部的周邊部，會發現該溢出了的感光性樹脂夾在成形模與下敷層之間的傾向。會發現該夾著的感光性樹脂由于上述曝光而保持原樣地硬化并變成毛刺的傾向。雖然該毛刺在脫模后被切除，但在上敷層的透鏡部形成有毛刺時，不能將該毛刺切除成透鏡曲面狀，會發現透鏡性能變得不足的傾向。

另外，上述那樣在成形模與下敷層之間夾著感光性樹脂時，上述成形模的高度位置偏移該夾著的感光性樹脂的厚度，因此，上敷層的高度被形成得比設計值高，從而芯與上敷層之間的位置關系產生偏移。因此，從芯的頂端射出的光在上敷層的端部的透鏡部未被適當地聚光，而在分散的狀態下從該透鏡部射出。因此，接收該光的一側的受光強度(光傳播特性)下降。并且，在上述毛刺中，存在厚度較厚的部分和厚度較薄的部分，這成為產品(光波導路)的特性產生偏差、有損特性的均勻性的原因。采用上述成形模來形成上敷層在上述方面存在改良的余地。

發明內容

本發明是鑒于這樣的情況而做成的，其目的在于提供一種光波導路的制造方法，該光波導路的制造方法在上敷層的形成中使用不會產生毛刺的成形模。

為了達成上述目的，本發明的光波導路的制造方法具有如下所述的工序：在將芯圖案形成在下敷層的表面上之后，使用形成有凹部的成形模而以覆蓋上述芯的狀態形成上敷層，該凹部具有與上敷層的形狀相對應的模面，該光波導路的制造方法采用如下的構成：使用下述(A)的成形模來作為上述成形模，上敷層的形成是這樣進行的：向上述成形模的凹部內填充上敷層形成用的感光性樹脂，在將上述芯浸入該感光性樹脂內并且將從上述凹部內溢出的感光性樹脂積存在上述成形模的槽部內的狀態下，透過上述成形模使上述凹部內的感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化而形成為上敷層。

(A)是如下的透光性樹脂制成的成形模，即，將具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件設置在成形模形成用的容器內，向該容器內填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化之后，從上述容器中將硬化后的透光性樹脂與模具構件一起取出，以使上述模具構件脫離所得到的上述突起部分的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部、并將上述突條部分的脫離痕跡作為對從上述凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂進行積存的槽部。