[發明專利]光波導路的制造方法

有效

• 申請號: 201110186062.2
• 申請日: 2011-07-01
• 公開（公告）號: CN102313926A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 內藤龍介;長藤昭子
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/138
• 分類號: G02B6/138;G02B6/122
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光波導路的制造方法，其具有如下所述的工序：在將芯圖案形成于下敷層的表面之后，使用形成有凹部的成形模而以覆蓋上述芯的狀態形成上敷層，該凹部具有與上敷層的形狀相對應的模面，該光波導路的制造方法的特征在于，

使用下述(A)的成形模來作為上述成形模，上敷層的形成是這樣進行的：向上述成形模的凹部內填充上敷層形成用的感光性樹脂，在將上述芯浸入該感光性樹脂內并且將從上述凹部內溢出的感光性樹脂積存在上述成形模的槽部內的狀態下，透過上述成形模使上述凹部內的感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化而形成為上敷層；

(A)是如下的由透光性樹脂制成的成形模，即，將具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件設置在成形模形成用的容器內，向該容器內填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化之后，從上述容器中將硬化后的透光性樹脂與模具構件一起取出，以使上述模具構件脫離所得到的上述突起部分的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部、并將上述突條部分的脫離痕跡作為對從上述凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂進行積存的槽部。

2.根據權利要求1所述的光波導路的制造方法，其中，

上述成形模的凹部的與覆蓋上述芯的頂端部的上敷層部分相對應的模面部分被形成為透鏡曲面。

3.根據權利要求1或者2所述的光波導路的制造方法，其中，

上述成形模的形成材料、即透光性樹脂含有硅樹脂。