[發明專利]一種提高太陽能電池RIE均勻性的制絨設備及方法

無效

• 申請號: 201110180147.X
• 申請日: 2011-06-30
• 公開（公告）號: CN102364662A
• 公開（公告）日: 2012-02-29
• 發明（設計）人: 鐘明
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: H01L21/3065
• 分類號: H01L21/3065
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種提高太陽能電池RIE均勻性的制絨設備，包括反應腔、頂部氣體管 路(1)和噴淋頭(2)，電池片(4)放置在反應腔內，噴淋頭(2)位于反應腔 的頂部，反應氣體通過頂部氣體管路(1)輸送，從噴淋頭(2)進入反應腔， 其特征是：在所述的反應腔側壁(3)上設置側壁氣體管路(5)，在頂部氣體管 路(1)和側壁氣體管路(5)上都設置單獨的流量控制器(6)，可分別調整流 量。

2.根據權利要求1所述的一種提高太陽能電池RIE均勻性的制絨設備，其 特征是：所述的反應腔側壁(3)兩側都設置側壁氣體管路(5)。

3.一種提高太陽能電池RIE均勻性的方法，其特征是：使用權利要求1所 述的制絨設備，如果邊緣反射率較高則可增加側壁氣體管路流量，反之則降低 側壁氣體管路流量。

4.根據權利要求3所述的提高太陽能電池RIE均勻性的方法，其特征是： 側壁氣體流量與噴淋頭氣體流量比例為0.5～1.5之間。