[發(fā)明專利]二極管酸洗脫水工藝及其設(shè)備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110178578.2 | 申請日: | 2011-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN102244001A | 公開(公告)日: | 2011-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐謙;李偉;戴亮;莊娟梅 | 申請(專利權(quán))人: | 常州佳訊光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/329 | 分類號: | H01L21/329;H01L21/02 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人: | 何學(xué)成 |
| 地址: | 213022 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 二極管 酸洗 脫水 工藝 及其 設(shè)備 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及二極管領(lǐng)域,特別的是涉及二極管酸洗脫水工藝及其設(shè)備。?
背景技術(shù)
目前,二極管組件經(jīng)過化學(xué)試劑的腐蝕后,需要通過酸洗機(jī)水超聲段的純水清洗,才能出酸洗機(jī),而二極管組建在出了酸洗機(jī)水超聲段后的材料,需要在每條生產(chǎn)線上配置1名操作人員,這名操作人員拿出二級管組件,將其放置在甩干機(jī)內(nèi),進(jìn)行初步甩干,甩干后的二極管組件需要操作人員再將其拿出,放置在1號異丙醇缸(1#IPA缸)內(nèi),待后面材料出甩干機(jī)后,再將1號異丙醇缸(1#IPA缸)內(nèi)材料取出,再放入2號異丙醇缸(2#IPA缸)內(nèi),進(jìn)行清洗脫水,待1號異丙醇缸(1#IPA缸)內(nèi)的二極管組件清洗好后,取出2號異丙醇缸(2#IPA缸)送往下一工序,此種工藝大大的增加了人力勞動和原材周轉(zhuǎn)過程,同時(shí),二極管組件在甩干機(jī)操作過程中,由于是瞬間高速轉(zhuǎn)動二極管材料,來實(shí)現(xiàn)甩掉二極管表面的水跡,瞬間高速轉(zhuǎn)動過程中極易造成部分品種二極管斷裂,降低成品率,對產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。?
發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種減少工序步驟,提高效率的二極管酸洗脫水工藝及其設(shè)備。?
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:?
二極管酸洗脫水工藝,包括如下工序:首先將二極管組件送入化學(xué)酸洗段,分別進(jìn)行3次酸洗,4次沖水;將沖洗后的二極管組件送入至水超聲清洗段進(jìn)行超聲清洗;結(jié)束后,將二級管組件送入至烘干段,調(diào)整烘干段的溫度在40~70℃范圍內(nèi),烘干120~180S;烘干后,將二極管組件送入至冷卻段,控制冷卻段的?溫度在15~30℃范圍內(nèi),將二極管組件冷卻低于30℃,停止冷卻;將冷卻好的二極管組件依次送入至1號異丙醇缸與2號異丙醇缸內(nèi)進(jìn)行清洗,結(jié)束二極管酸洗脫水工序。?
所述的3次酸洗分別為1次酸洗、2次酸洗、3次酸洗;?
所述的1次酸洗為硝酸、氫氟酸、冰乙酸及硫酸的混合液,按照體積比計(jì),所述的混合液的配比為:硝酸∶氫氟酸∶冰乙酸∶硫酸為9∶9∶12∶4;?
所述的2次酸洗為磷酸、雙氧水、純水的混合液,按照體積比計(jì),所述的混合液的配比為:磷酸∶雙氧水∶純水為1∶1∶3;?
所述的3次酸洗為氨水、雙氧水、純水的混合液,按照體積比計(jì),所述的混合液的配比為:氨水∶雙氧水∶純水為20∶10∶1。?
所述的水超聲清洗段,其超聲電流控制在1.5~2A范圍內(nèi),純水電阻率控制在≥10MΩ·CM范圍。?
所述的1號異丙醇電阻率控制在≥10MΩ·CM范圍,所述的2號異丙醇電阻率控制在≥20MΩ·CM范圍。?
如上述的二極管酸洗脫水工藝,其設(shè)備包括依次連接的化學(xué)酸洗段、水超聲清洗段、烘干段、冷卻段、1號異丙醇缸和2號異丙醇缸,所述的烘干段設(shè)置有紫外燈和溫度開關(guān),所述的紫外燈與溫度開關(guān)相連接;所述的冷卻段設(shè)置有風(fēng)扇和風(fēng)速調(diào)節(jié)開關(guān),所述的風(fēng)扇與風(fēng)速調(diào)節(jié)開關(guān)相連接。?
所述的烘干段,其長度為1~2m。
所述的冷卻段,其長度為1米。?
所述的1號異丙醇缸與2號異丙醇缸的總長度為2~2.5米。?
上述方案中,本發(fā)明采用了3次酸洗,由于1次酸洗腐蝕二極管組件的晶粒周邊棱角,去除晶粒周邊漏電雜質(zhì),2次酸洗使得經(jīng)一次酸洗后的二極管組件,其晶粒表面形成一層保護(hù)層,保護(hù)晶粒在1次酸洗后不會形成二次污染,3次酸洗其主要作用是加強(qiáng)二極管組件的管芯的硬特性,去除晶粒表面的酸離子和金屬離子,綜合堿性,3次酸洗以除表面酸性,為二極管組件的合格率提供了保證。?同時(shí),本發(fā)明烘干段采用紫外燈進(jìn)行烘干,由于采用了紫外燈作為烘干設(shè)備,利用紫外燈的強(qiáng)度來道道處理二極管表面的水跡,摒除了現(xiàn)有技術(shù)中常用的甩干機(jī),避免了甩干造成的二極管組件成品率的損失,減少了成本的付出。另外,采用本發(fā)明的工藝,從多層工藝更改為一體工藝,現(xiàn)有操作方法每條生產(chǎn)線需要員工一人,操作非常繁瑣,更改后的一體機(jī),每人可同時(shí)工作1-4條生產(chǎn)線,大大降低操作人員,節(jié)約人力成本的同時(shí)并挺高生產(chǎn)效率。?
本發(fā)明的有益效果在于:節(jié)省了人力成本,減少了工作人員的工作量,同時(shí)提高了生產(chǎn)效率,增加二極管組件成品的合格率。?
附圖說明
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖?
圖中:1為化學(xué)酸洗段,2為水超聲清洗段,3為烘干段,4為冷卻段,51為1#IPA,52為2#IPA。?
具體實(shí)施方式
下面通過具體實(shí)施例,對本發(fā)明做詳細(xì)的說明。?
實(shí)施例1?
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





