[發明專利]二極管酸洗脫水工藝及其設備

無效

• 申請號: 201110178578.2
• 申請日: 2011-06-29
• 公開（公告）號: CN102244001A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 徐謙;李偉;戴亮;莊娟梅
• 申請（專利權）人: 常州佳訊光電產業發展有限公司
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/02
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

1.二極管酸洗脫水工藝，其特征在于，包括如下工序：首先將二極管組件送入化學酸洗段，分別進行3次酸洗，4次沖水，所述的酸洗和沖水交替進行，將沖洗后的二極管組件送入至水超聲清洗段進行超聲清洗；結束后，將二級管組件送入至烘干段，調整烘干段的溫度在40～70℃范圍內，烘干120～180S；烘干后，將二極管組件送入至冷卻段，控制冷卻段的溫度在15～30℃范圍內，將二極管組件冷卻低于30℃，停止冷卻；將冷卻好的二極管組件依次送入至1號異丙醇缸與2號異丙醇缸內進行清洗，結束二極管酸洗脫水工序。

2.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水工藝，其特征在于：所述的3次酸洗分別為1次酸洗、2次酸洗、3次酸洗；

所述的1次酸洗為硝酸、氫氟酸、冰乙酸及硫酸的混合液，按照體積比計，所述的混合液的配比為：硝酸∶氫氟酸∶冰乙酸∶硫酸為9∶9∶12∶4；

所述的2次酸洗為磷酸、雙氧水、純水的混合液，按照體積比計，所述的混合液的配比為：磷酸∶雙氧水∶純水為1∶1∶3；

所述的3次酸洗為氨水、雙氧水、純水的混合液，按照體積比計，所述的混合液的配比為：氨水∶雙氧水∶純水為20∶10∶1。

3.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水工藝，其特征在于：所述的水超聲清洗段，其超聲電流控制在1.5～2A范圍內，純水電阻率控制在≥10MΩ·CM范圍。

4.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水工藝，其特征在于：所述的1號異丙醇電阻率控制在≥10MΩ·CM范圍，所述的2號異丙醇電阻率控制在≥20MΩ·CM范圍。

5.如權利要求1所述的二極管酸洗脫水工藝，其設備，其特征在于：包括依次連接的化學酸洗段、水超聲清洗段、烘干段、冷卻段、1號異丙醇缸和2號異丙醇缸，所述的烘干段設置有紫外燈和溫度開關，所述的紫外燈與溫度開關相連接；所述的冷卻段設置有風扇和風速調節開關，所述的風扇與風速調節開關相連接。

6.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水設備，其特征在于：所述的烘干段，其長度為1～2m。

7.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水設備，其特征在于：所述的冷卻段，其長度為1米。

8.根據權利要求1所述的二極管酸洗脫水設備，其特征在于：所述的1號異丙醇缸與2號異丙醇缸的總長度為2～2.5米。