[發明專利]氣態分子級污染物測試的標準品制備及測試方法和設備有效
| 申請號： | 201110176527.6 | 申請日： | 2011-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN102353727A | 公開（公告）日： | 2012-02-15 |
| 發明（設計）人： | 吳顯欣;傅蓓芬 | 申請（專利權）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G01N30/02 | 分類號： | G01N30/02;G01N30/06 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣態 分子 污染物 測試 標準 制備 方法 設備 | ||
1.一種氣態分子級污染物測試的標準品的制備及測試方法，其特征在于包括：將預定量的液體標準物注射在熱解吸系統的樣品管中，其中限定了注射點位置、樣品管中吸附劑位置及第一傳遞導管位置，并對樣品管進行加熱；
通過第一傳遞導管將加熱氣化后的液體標準物從熱解吸系統傳遞至冷進樣系統；
利用冷進樣系統將氣化后液體標準物重新吸附；以及
對冷進樣系統再次加熱并通過第二傳遞導管將再次氣化的液體標準物從冷進樣系統傳遞至氣相色譜-質譜聯用儀。
2.根據權利要求1所述的氣態分子級污染物測試的標準品的制備及測試方法，其特征在于，利用帶有吸附劑的樣品管而不是空石英管進行實驗。
3.根據權利要求2所述的氣態分子級污染物測試的標準品的制備及測試方法，其特征在于，在所述樣品管中，樣品管自帶的吸附劑相對于所述液體標準物注射位置更靠近所述第一傳遞導管。
4.一種氣態分子級污染物樣品測試設備，其特征在于包括：
包括液體標準物質注射系統的熱解吸系統，該熱解吸系統在做樣品分析時直接對樣品管進行加熱，而在做標準品測試時先利用注射系統注入定量的液體標準物質于樣品管中的特定位置，然后再對樣品導管進行加熱；
第一傳遞導管，用于將加熱氣化后的標準物質從熱解吸系統傳遞至冷進樣系統；冷進樣系統，用于將氣化后的標準物劑重新吸附；以及
第二傳遞導管，用于將重新加熱氣化后的標準物從冷進樣系統傳遞至氣相色譜-質譜聯用儀。
5.根據權利要求4所述的氣態分子級污染物測試設備，其特征在于，熱解吸系統可插入樣品管。
6.根據權利要求5所述的氣態分子級污染物測試設備，其特征在于，還包括增加液體標準物質注射系統。
7.根據權利要求5所述的氣態分子級污染物測試設備，其特征在于，液體標準物質注射點相對于樣品管自帶的吸附劑更遠離所述第一傳遞導管。
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