[發明專利]分流式氣浴風道

有效

• 申請號: 201110172218.1
• 申請日: 2011-06-23
• 公開（公告）號: CN102841508A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 張洪博;聶宏飛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及一種氣浴風道，尤其涉及一種分流式氣浴風道。?

背景技術

光刻機是高精密設備，內部環境及部件的溫度對光刻精度的影響很大。光刻機內部熱源很多，這些熱源產生的熱量會影響系統內各部件及空間溫度的穩定，必須加以控制。氣浴是光刻機溫度控制的主要手段之一，通過向工件臺、掩模臺、硅片傳輸等區域及部件施加恒溫氣浴，達到空間及部件溫度的穩定性和均勻性。氣浴風道的設計就是將溫度受控的氣浴氣體輸送到需要氣浴的各個區域及部件。?

現有光刻機氣浴風道的設計多采用在各個支路布置節流式閥門來實現各個支路氣浴流量可調的功能。圖1是一種傳統的支路節流式氣浴風道的示意圖。請參考圖1。支路節流式氣浴風道包括入口1、風道外壁2、支路出口3、法蘭4以及節流閥5。其中節流閥5的主要作用為增大局部阻力，限制氣浴氣體通過，進而實現支路流量可調。圖2A、圖2B以及圖3即為目前常用的兩種節流閥。?

具體而言，圖2A～圖2B是一種傳統的蝶閥的示意圖。請參考圖2A～圖2B。三通管6的兩個出風口7分別設置有蝶閥8，蝶閥8的一端通過法蘭10聯接在三通管6的出風口端，蝶閥8的另一端聯接有金屬管。在此，蝶閥8由兩個半圓形風門10組成，每個風門10的轉軸12設置有軸承11，對應每個風門10設置有調節手柄9。?

上述三通管6的結構在滿足對通風管路進行分流要求的同時，可對各個支路風量進行調節，并且結構簡單、工作可靠，現有光刻機的氣浴風道設計中多采用這種技術。然而，在各個支路布置蝶閥的氣浴風道，密閉性較差，且系統壓阻很大。另外，各個支路之間的壓力調節相互干擾，調節?一個支路上的蝶閥，就會改變整個系統的壓阻，進而影響到整個系統的流量分配。?

圖3是一種傳統的流線型密閉風量調節閥的示意圖。請參考圖3。流線型密閉風量調節閥主要包括框架14、多個葉片15以及兩組連接桿件16。葉片15安裝在框架14內，兩組連接桿件16分別設置于框架14的兩側，用于驅動葉片15。葉片15的橫截面呈流線型，在葉片15的一邊形成有齒槽，在葉片15的另一邊形成有齒尖，葉片15中部沿葉片長度方向形成有貫通的方形的軸孔。?

上述流線型密閉風量調節閥容易實現葉片的靈活轉動，葉片嚙合處密封性好，能實現極低的漏風率，并且可根據葉片的開合控制風量大小。然而，此調節閥的原理與圖2A與圖2B所示的蝶閥一樣，都是通過改變支路上的壓阻來調節流量。采用這種流量調節方式的氣浴風道，系統壓阻很大，且調節一個支路上的閥門，就會改變整個系統的壓阻，進而影響到其它支路的流量，導致流量調節過程繁瑣，且調節精度較差。?

發明內容

本發明的目的在于提供一種分流式氣浴風道，以改善現有技術的缺失。?

為解決上述技術問題，本發明提供的分流式氣浴風道包括本體以及至少一個分流單元。本體具有至少一個支路出風口。分流單元與支路出風口一一對應設置，本體的高度隨著分流單元依次減小。分流單元包括調節件與分流片，調節件可移動地設置于本體且連接于分流片，分流片平行于本體。?

在本發明的一實施例中，支路出風口具有支路管壁，且分流片可轉動地設置于支路管壁。?

在本發明的一實施例中，分流單元還包括轉軸與軸承，轉軸可轉動地設置于支路管壁，軸承套合于轉軸。?

在本發明的一實施例中，本體還具有上壁面與下壁面，支路出風口位于下壁面。?

在本發明的一實施例中，當支路出風口與分流單元的數目為多個時，上壁面為連續平面，下壁面隨著多個分流單元而逐漸向上壁面靠攏。?

在本發明的一實施例中，當支路出風口與分流單元的數目為多個時，多個支路出風口處于同一水平面，下壁面與各個分流片的連接處分別向下彎曲至所述水平面，上壁面的對應部分也分別向下彎曲，且上壁面與下壁面的彎曲角度與彎曲長度相同。?

在本發明的一實施例中，本體具有弧形槽，調節件可移動地設置于弧形槽。?

綜上所述，在本發明的分流式氣浴風道中，通過調節件可改變分流片的位置，以實現各個支路流量可調的目的。另外，由于在本發明中，此分流式氣浴風道調節支路流量的原理為分流原理，而不是傳統的節流原理，在調節下一級支路流量時，系統的壓阻變化微弱，對上一級支路的壓力及流量沒有影響。因此，此分流式氣浴風道在滿足各個支路流量可調的同時，解決了支路流量調節相互干擾的問題，減少了氣浴系統的壓阻，節約了能耗。?

附圖說明

圖1是一種傳統的支路節流式氣浴風道的示意圖；?

圖2A～圖2B是一種傳統的蝶閥的示意圖；?