[發(fā)明專利]分流式氣浴風道有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110172218.1 | 申請日： | 2011-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN102841508A | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張洪博;聶宏飛 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H05K7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分流 式氣浴 風道 | ||
1.一種分流式氣浴風道，其特征在于，包括：
本體，具有至少一個支路出風口；以及
至少一個分流單元，與所述至少一個支路出風口一一對應設置，所述本體的高度隨著所述分流單元依次減小，所述分流單元包括調節(jié)件與分流片，所述調節(jié)件可移動地設置于所述本體且連接于所述分流片，所述分流片平行于所述本體。
2.根據權利要求1所述的分流式氣浴風道，其特征在于，所述支路出風口具有支路管壁，所述分流片可轉動地設置于所述支路管壁。
3.根據權利要求2所述的分流式氣浴風道，其特征在于，所述分流單元還包括轉軸與軸承，所述轉軸可轉動地設置于所述支路管壁，所述軸承套合于所述轉軸。
4.根據權利要求1所述的分流式氣浴風道，其特征在于，所述本體還具有上壁面與下壁面，所述支路出風口位于所述下壁面。
5.根據權利要求4所述的分流式氣浴風道，其特征在于，當所述支路出風口與所述分流單元的數目為多個時，所述上壁面為連續(xù)平面，所述下壁面隨著所述多個分流單元而逐漸向所述上壁面靠攏。
6.根據權利要求4所述的分流式氣浴風道，其特征在于，當所述支路出風口與所述分流單元的數目為多個時，所述多個支路出風口處于同一水平面，所述下壁面與各個所述分流片的連接處分別向下彎曲至所述水平面，所述上壁面的對應部分也分別向下彎曲，且所述上壁面與所述下壁面的彎曲角度與彎曲長度相同。
7.根據權利要求1所述的分流式氣浴風道，其特征在于，所述本體具有弧形槽，所述調節(jié)件可移動地設置于所述弧形槽。
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