[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電膜玻璃及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110168960.5
• 申請(qǐng)日: 2011-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102837467A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董清世;張明君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信義光伏產(chǎn)業(yè)（安徽）控股有限公司
• 主分類號(hào): B32B17/06
• 分類號(hào): B32B17/06;B32B9/04;C03C17/34;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于導(dǎo)電玻璃技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是涉及一種透明導(dǎo)電膜玻璃及其制備方法。

背景技術(shù)

對(duì)于非晶硅薄膜太陽(yáng)電池和以氫化非晶硅(a-Si:H)與微晶硅(μc-Si:H)作為吸收層構(gòu)成的組件來(lái)說(shuō)，由具有絨面結(jié)構(gòu)、高電導(dǎo)率、高透過(guò)率的前電極和高反射的復(fù)合背電極相結(jié)合形成的陷光(light?trapping)結(jié)構(gòu)對(duì)組件性能尤為重要。而作為前電極的透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜玻璃，要滿足高透過(guò)率、低電阻率、一定的陷光結(jié)構(gòu)，對(duì)提高a-Si、μc-Si和非晶硅薄膜太陽(yáng)電池的效率起到了決定性的作用，但在大規(guī)模生產(chǎn)中鍍制TCO玻璃，由于膜厚和電阻率的制約，使得TCO玻璃的光透過(guò)率低，導(dǎo)致整體膜層的透過(guò)常不能與之兼顧。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)致密、緊湊、簡(jiǎn)單，光透過(guò)率高的透明導(dǎo)電膜玻璃。

以及，提供一種工序簡(jiǎn)單，生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低的透明導(dǎo)電膜玻璃的制備方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種透明導(dǎo)電膜玻璃，包括依次疊加設(shè)置的玻璃基片、多層減反射膜層、透明導(dǎo)電膜層。

以及，上述透明導(dǎo)電膜玻璃制備方法，包括如下步驟：

獲取玻璃基片；

在所述玻璃基片上依次鍍多層減反射膜層；

在所述減反射膜層的與所述玻璃基片相對(duì)面上鍍透明導(dǎo)電膜層，得到所述透明導(dǎo)電膜玻璃。

上述透明導(dǎo)電膜玻璃通過(guò)在玻璃基片與透明導(dǎo)電膜層之間增設(shè)減反射膜層，有效的減少了光線在透明導(dǎo)電膜玻璃中的反射，使得光線發(fā)生折射，從而提高該透明導(dǎo)電膜玻璃透光率。

上述透明導(dǎo)電膜玻璃制備方法采用鍍層的方式依次在玻璃基板上鍍層，使得該透明導(dǎo)電膜玻璃各層之間結(jié)構(gòu)致密、附著良好，結(jié)構(gòu)緊湊，其制備方法工序簡(jiǎn)單，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，適于工業(yè)化生產(chǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例透明導(dǎo)電膜玻璃一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例透明導(dǎo)電膜玻璃制備方法的流程示意圖；

圖3是對(duì)比實(shí)施例1制備的透明導(dǎo)電膜玻璃的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例1、對(duì)比實(shí)施例1和對(duì)比實(shí)施例2制備透明導(dǎo)電膜玻璃對(duì)可見(jiàn)光的透過(guò)曲線圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種結(jié)構(gòu)致密、緊湊、簡(jiǎn)單，光透過(guò)率高的透明導(dǎo)電膜玻璃。如圖1所示，該透明導(dǎo)電膜玻璃包括玻璃基片1，以及在玻璃基片1一表面上依次疊加設(shè)置的多層減反射膜層2、透明導(dǎo)電膜層3。這樣，該透明導(dǎo)電膜玻璃通過(guò)在玻璃基片1與透明導(dǎo)電膜層3之間增設(shè)減反射膜層2，該減反射膜層2能有效的降低光線的反射率，提高光線的折射率，因此，有效的減少了光線在該透明導(dǎo)電膜玻璃中的反射，使得光線發(fā)生折射，從而提高該透明導(dǎo)電膜玻璃透光率，具體請(qǐng)參見(jiàn)實(shí)施例1至實(shí)施例3制備的透明導(dǎo)電膜玻璃的透光率。

優(yōu)選地，如圖1所示，作為本發(fā)明的一實(shí)施例，多層減反射膜層2優(yōu)選包括依次疊加設(shè)置的第一TiO₂膜層21、第一SiO₂膜層22、第二TiO₂膜層23和第二SiO₂膜層24，其中，該第一TiO₂膜層21與玻璃基片1連接，第二SiO₂膜層24與透明導(dǎo)電膜層3連接。該結(jié)構(gòu)的多層減反射膜層2能進(jìn)一步降低光線的反射率，提高光線的折射率，使得上述透明導(dǎo)電膜玻璃的透光率進(jìn)一步提高。

進(jìn)一步優(yōu)選地，如圖1所示，作為本發(fā)明的一實(shí)施例，上述第一TiO₂膜層的厚度優(yōu)選為20nm～70nm；第一SiO₂膜層的厚度優(yōu)選為30nm～110nm；第二TiO₂膜層的厚度優(yōu)選為20nm～70nm；第二SiO₂膜層的厚度優(yōu)選為30nm～110nm。該減反射膜層中各層的優(yōu)選厚度，能更進(jìn)一步的降低光線的反射率，提高光線的折射率，使得上述透明導(dǎo)電膜玻璃的透光率進(jìn)一步提高。