[發明專利]用于加載或卸載基板的基板處理裝置

有效

• 申請號: 201110163497.5
• 申請日: 2011-06-17
• 公開（公告）號: CN102290486A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 劉載賢;具教旭
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 陳英俊

1.一種基板處理裝置，用于在托盤上加載或卸載多個基板，其特征在于，包括：

托盤搬運部，托盤位于其上，用于搬運所述托盤；

基板加載傳送部，需要供給至所述托盤的基板在該基板加載傳送部被排成一列；

基板卸載傳送部，需要從所述托盤搬出的基板在該基板卸載傳送部被排成一列；

第一基板搬運機械手，拾取在所述基板加載傳送部待機中的基板，并搬運到位于所述托盤搬運部上的所述托盤；以及

第二基板搬運機械手，從位于所述托盤搬運部的所述托盤上拾取基板，并搬運到所述基板卸載傳送部。

2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述第一基板搬運機械手包括：

一對移送導軌，設置在所述托盤搬運部的上部的兩側；

移動框架，被設置成能夠沿著所述移送導軌移動；以及

吸盤單元，設置在所述移動框架上，并用于固持基板。

3.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述第二基板搬運機械手包括：

一對移送導軌，設置在所述托盤搬運部的上部的兩側；

移動框架，被設置成能夠沿著所述移送導軌移動；以及

吸盤單元，設置在所述移動框架上，并用于固持基板。

4.根據權利要求2或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，所述吸盤單元包括：

支撐框架，設置有多個伯努利吸盤，該多個伯努利吸盤以非接觸狀態固持基板的上面；以及

升降驅動部，使所述支撐框架升降。

5.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述托盤搬運部包括：

上層搬運輥部，與托盤的搬運方向平行地設置在兩側；

下層搬運輥部，位于所述上層搬運輥部的下方，并與托盤的搬運方向平行地設置在兩側；

托盤升降部，將放置在所述下層搬運輥部上的托盤提升到上層；以及

開放驅動部，移動所述上層搬運輥部，從而提供足夠空間使托盤通過所述托盤升降部進行上升移動。

6.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，還包括：

第一儲運盒升降機，用于放置裝載有基板的儲運盒，并使儲運盒升降；以及

基板搬出部，從放置在所述第一儲運盒升降機上的儲運盒中取出基板，并提供給所述基板加載傳送部。

7.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，還包括二層結構的儲運盒加載傳送部，所述儲運盒加載傳送部包括：

上層傳送帶，將裝載有基板的儲運盒提供給所述第一儲運盒升降機；及

下層傳送帶，從所述第一儲運盒升降機接收空的儲運盒。

8.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，所述基板搬出部包括：

底板，具有用于放置基板的基板支撐柱；

末端執行器，從放置在所述第一儲運盒升降機上的儲運盒中取出基板；以及

基板移位模塊，其具有相互對稱地一體形成的第一安放部和第二安放部，所述第一安放部從所述末端執行器接住基板并移送至所述基板支撐柱上，所述第二安放部將由所述基板支撐柱支撐的基板移送到所述基板加載傳送部。

9.根據權利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述末端執行器通過液壓缸單元在前后方向上進行前進動作和后退動作，在其一端上具有能夠真空吸附基板的真空吸附部。

10.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述第一儲運盒升降機、所述基板搬出部以及所述基板加載傳送部配置在同一直線上。

11.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，所述基板搬出部包括：

底板；位于所述第一儲運盒升降機與所述基板加載傳送部之間，并具有支撐基板底面的基板支撐柱；

末端執行器，設置在所述底板上，并從放置在所述第一儲運盒升降機上的儲運盒中取出基板；以及

基板移位模塊，其以使所述基板支撐柱和所述末端執行器位于內側的方式設置在所述底板上，并且在前后方向開放以避免和所述末端執行器及所述基板支撐柱發生沖突，而且具有相互對稱地構成的第一安放部和第二安放部，所述第一安放部從所述末端執行器接住基板并移送到所述基板支撐柱上，所述第二安放部將由所述基板支撐柱支撐的基板移送到所述基板加載傳送部。