[發明專利]補液裝置及包括該補液裝置的太陽電池片的濕法刻蝕系統

無效

• 申請號: 201110160197.1
• 申請日: 2011-06-15
• 公開（公告）號: CN102828184A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 暢西林;榮道蘭;曹韻;韓啟明
• 申請（專利權）人: 尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H01L31/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 臧霽晨;高為

1.?一種補液裝置，其特征在于，包括：

補液容器；

液位管；

液位感應器，其設置于所述液位管上；

手動加液管，其與所述液位管連通；

第一閥門，其用于控制所述補液容器是否與所述液位管和所述手動加液管連通；

第二閥門和流量計，其設置于所述手動加液管上；以及

自動加液管。

2.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述液位管和所述補液容器之間設置連通管，所述第一閥門設置于所述連通管上。

3.?如權利要求2所述的補液裝置，其特征在于，所述連通管上設置T形管，所述T形管用于實現所述連通管同時與所述液位管和手動加液管連通。

4.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述液位感應器包括在所述液位管上由上至下依次設置的高液位感應器、工作液位感應器和低液位感應器。

5.?如權利要求1或4所述的補液裝置，其特征在于，所述液位感應器為光電式液位感應器。

6.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述手動加液管的內徑范圍為1厘米至1.5厘米。

7.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述補液裝置處于正常的自動模式時，所述第一閥門打開，所述第二閥門關閉。

8.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述補液裝置處于校準模式時，所述第一閥門關閉，所述第二閥門打開。

9.?如權利要求1所述的補液裝置，其特征在于，所述補液裝置以非自動模式向所述反應槽快速補充藥液時，所述第一閥門打開，所述第二閥門打開。

10.?一種太陽電池片的濕法刻蝕系統，其特征在于，包括：

一個或一個以上如權利要求1至9中任一項所述的補液裝置；

反應槽，其用于為所述太陽電池硅片提供反應溶液；以及

集中供液裝置，其用于為所述補液裝置提供相應的藥液；

其中，所述補液裝置用于向所述反應槽定量地補充相應藥液。