[發(fā)明專利]補(bǔ)液裝置及包括該補(bǔ)液裝置的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110160197.1
• 申請日: 2011-06-15
• 公開（公告）號: CN102828184A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 暢西林;榮道蘭;曹韻;韓啟明
• 申請（專利權(quán)）人: 尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H01L31/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 臧霽晨;高為

1.?一種補(bǔ)液裝置，其特征在于，包括：

補(bǔ)液容器；

液位管；

液位感應(yīng)器，其設(shè)置于所述液位管上；

手動加液管，其與所述液位管連通；

第一閥門，其用于控制所述補(bǔ)液容器是否與所述液位管和所述手動加液管連通；

第二閥門和流量計(jì)，其設(shè)置于所述手動加液管上；以及

自動加液管。

2.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位管和所述補(bǔ)液容器之間設(shè)置連通管，所述第一閥門設(shè)置于所述連通管上。

3.?如權(quán)利要求2所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述連通管上設(shè)置T形管，所述T形管用于實(shí)現(xiàn)所述連通管同時(shí)與所述液位管和手動加液管連通。

4.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位感應(yīng)器包括在所述液位管上由上至下依次設(shè)置的高液位感應(yīng)器、工作液位感應(yīng)器和低液位感應(yīng)器。

5.?如權(quán)利要求1或4所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位感應(yīng)器為光電式液位感應(yīng)器。

6.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述手動加液管的內(nèi)徑范圍為1厘米至1.5厘米。

7.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置處于正常的自動模式時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門關(guān)閉。

8.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置處于校準(zhǔn)模式時(shí)，所述第一閥門關(guān)閉，所述第二閥門打開。

9.?如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置以非自動模式向所述反應(yīng)槽快速補(bǔ)充藥液時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門打開。

10.?一種太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，包括：

一個或一個以上如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的補(bǔ)液裝置；

反應(yīng)槽，其用于為所述太陽電池硅片提供反應(yīng)溶液；以及

集中供液裝置，其用于為所述補(bǔ)液裝置提供相應(yīng)的藥液；

其中，所述補(bǔ)液裝置用于向所述反應(yīng)槽定量地補(bǔ)充相應(yīng)藥液。