[發(fā)明專利]測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110159296.8
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN102253323A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李韞慧;章昊;肖文波;吳昊;譚平恒
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R19/12
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：

一HeNe激光器，用來激發(fā)樣品光生載流子；

一格蘭泰勒棱鏡，位于HeNe激光器的主光路上，將HeNe激光器出射的激光變成線偏振光；

一光彈調(diào)制器，將線偏振光調(diào)制為按50KHz周期調(diào)制的左右旋圓偏振光；

一顯微物鏡，該顯微物鏡位于主光路上，用于將入射激光聚焦在樣品臺面上；

一變溫液氮杜瓦樣品座，該變溫液氮杜瓦樣品座位于主光路上，該變溫液氮杜瓦樣品座包括一溫度控制儀，一紫銅冷指，待測量樣品固定在紫銅冷指頂端；

一數(shù)字電壓電流源表，與變溫液氮杜瓦樣品座內(nèi)的待測量樣品連接，用于施加直流偏置電壓，并同時(shí)讀取樣品回路的直流電流大小，其控制端通過GPIB線與一計(jì)算機(jī)連接；

一取樣電阻，與變溫液氮杜瓦樣品座內(nèi)的待測量樣品回路連接，用于將待測量樣品的交流電壓信號提取出來；

一鎖相放大器，該鎖相放大器的信號輸入端與取樣電阻連接，用來測量樣品的偏振相關(guān)交流電壓信號，其觸發(fā)輸入端與光彈調(diào)制器連接，該鎖相放大器的控制端通過GPIB線與一計(jì)算機(jī)連接；

一半反半透鏡組，該半反半透鏡組位于主光路上；

一白光光源，使出射的白光通過半反半透鏡組照射在變溫液氮杜瓦樣品座內(nèi)的樣品臺面上，用以觀察和調(diào)節(jié)HeNe激光器光斑打在待測量樣品臺面上的位置；

一攝像機(jī)和顯示器，用來顯示輸出待測量樣品臺面成像以及激光光斑位置；

一釹鐵硼環(huán)形永磁體，開有一通孔，同軸套在變溫液氮杜瓦樣品座的紫銅冷指外部；該釹鐵硼環(huán)形永磁體為水平移動，用于對待測量樣品提供可變的外加磁場強(qiáng)度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)，其中在HeNe激光器的主光路上還有兩個(gè)平面反射鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)，其中該半反半透鏡組，包括兩個(gè)相互垂直的半反半透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)，其中釹鐵硼環(huán)形永磁體安裝在一電動平移臺上，使其與變溫液氮杜瓦樣品座的水平相對位置可精細(xì)調(diào)節(jié)，并且放置在一手動升降臺上，用于調(diào)節(jié)釹鐵硼環(huán)形永磁體的高度和軸線位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量電子自旋相關(guān)輸運(yùn)的變溫顯微測量系統(tǒng)，其中變溫液氮杜瓦樣品座包括一溫度控制儀，將液氮注入杜瓦后，調(diào)節(jié)溫度控制儀的變溫速率和起止溫度，從而測量不同溫度下樣品偏振相關(guān)光生電壓隨直流偏置電壓的變化。