[發(fā)明專(zhuān)利]一種具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110151640.9
• 申請(qǐng)日: 2011-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102222605A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳惠榮;許力仁;李允仁
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京天平專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11239
• 代理人: 孫剛

1.一種具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，用于檢測(cè)自晶圓承載裝置輸出的晶圓，該具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備包括：

一組于該晶圓承載裝置及晶圓輸送設(shè)備位置之間移動(dòng)的汲取裝置，用于搬運(yùn)晶圓；

至少一組晶圓輸送裝置，包含有一輸送帶及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)該輸送帶，以使該晶圓能夠于該輸送帶上被搬運(yùn)；

多個(gè)破片檢測(cè)器，設(shè)置于該輸送帶兩側(cè)下方，用以檢測(cè)被搬運(yùn)于該輸送帶上的晶圓，并判斷晶圓是否有破裂的情況發(fā)生；以及

一組晶圓移轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置于該輸送帶另一端，該晶圓移轉(zhuǎn)裝置包含至少一個(gè)晶圓汲取器、至少一組橫向移動(dòng)軌道、至少一組縱向移動(dòng)軌道及多組輸出軌道，其中該晶圓汲取器能夠移動(dòng)于該橫向移動(dòng)軌道及該縱向移動(dòng)軌道上，因此當(dāng)該晶圓汲取器汲取該晶圓輸送裝置上的晶圓時(shí)，能夠進(jìn)行橫向或是縱向移動(dòng)，以將該晶圓轉(zhuǎn)移分配于該多組輸出軌道上。

2.如權(quán)利要求1所述具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，其特征在于，該破片檢測(cè)器上具有至少一個(gè)光接受端及至少一個(gè)光發(fā)射端，該光發(fā)射端用以照射該晶圓表面，并反射回該光接受端接收，以判斷晶圓是否有破裂的情況發(fā)生。

3.如權(quán)利要求1所述具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，其特征在于，該晶圓承載裝置為能夠承載晶圓的晶圓片匣或晶圓片盒。

4.一種具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，用于檢測(cè)自晶圓承載裝置輸出的晶圓，該具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備包括：

一組于該晶圓承載裝置及晶圓輸送設(shè)備位置之間移動(dòng)的汲取裝置，用于搬運(yùn)晶圓；

多個(gè)破片排除裝置，包含有一輸送帶、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、一連接于輸送帶下方的汽缸，其中該汽缸能透過(guò)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)改變?cè)撦斔蛶У奈恢脿顟B(tài)；

多組晶圓輸送裝置，包含有一輸送帶及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中該輸送帶與該破片排除裝置的輸送帶一端相連接，故該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)該輸送帶，以使該晶圓能夠于該輸送帶上被搬運(yùn)；

多個(gè)設(shè)置于該輸送帶兩側(cè)下方的破片檢測(cè)器；以及

一組晶圓移轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置于該破片排除裝置的輸送帶另一端，而該晶圓移轉(zhuǎn)裝置包含至少一個(gè)晶圓汲取器、至少一組橫向移動(dòng)軌道、至少一組縱向移動(dòng)軌道及多組輸出軌道，其中該晶圓汲取器能夠被搬運(yùn)于該橫向移動(dòng)軌道及該縱向移動(dòng)軌道上，因此當(dāng)該晶圓汲取器汲取該晶圓輸送裝置上的晶圓時(shí)，能夠進(jìn)行橫向或是縱向移動(dòng)，以將該晶圓轉(zhuǎn)移分配于該多組輸出軌道上。

5.如權(quán)利要求4所述晶圓翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該破片排除裝置的輸送帶上設(shè)置至少一個(gè)感測(cè)器，用以驅(qū)動(dòng)該汽缸進(jìn)行伸縮改變?cè)撦斔蛶樗綘顟B(tài)或是下擺狀態(tài)。

6.如權(quán)利要求4所述具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，其特征在于，該破片檢測(cè)器上具有至少一個(gè)光接受端及至少一個(gè)光發(fā)射端，該光發(fā)射端用以照射該晶圓表面，并反射回該光接受端接收，以判斷晶圓是否有破裂的情況發(fā)生。

7.如權(quán)利要求4所述具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，其特征在于，該晶圓承載裝置為能夠承載晶圓的晶圓片匣或晶圓片盒。

8.如權(quán)利要求4所述具有破片檢測(cè)的晶圓輸送設(shè)備，其特征在于，該破片排除裝置的輸送帶下方能夠添加設(shè)置一廢料容器，用以容置晶圓表面具有破裂的晶圓片。