[發(fā)明專(zhuān)利]二極管硅片上色裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110144534.8 | 申請(qǐng)日: | 2011-05-31 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102231358A | 公開(kāi)(公告)日: | 2011-11-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐謙;莊娟梅;王海燕 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 常州佳訊光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司;常州久和電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/00 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/00;H01L21/329 |
| 代理公司: | 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 32211 | 代理人: | 何學(xué)成 |
| 地址: | 213181 *** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 二極管 硅片 上色 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種上色裝置,特別是一種給二極管硅片表面上色的二極管硅片上色裝置。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的二極管硅片表面上色一般是操作工手持墨盒手動(dòng)來(lái)完成的,這種上色方式效率低、上色不均勻,在上色過(guò)程中會(huì)造成墨的浪費(fèi),而且會(huì)污染環(huán)境。
發(fā)明目的
本發(fā)明的目的在于針對(duì)背景技術(shù)中所述的現(xiàn)有的二極管硅片表面上色中存在的問(wèn)題,提供一種能夠解決前述問(wèn)題的二極管硅片上色裝置。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的發(fā)明目的的技術(shù)方案如下:
一種二極管硅片上色裝置,其包括轉(zhuǎn)盤(pán)、轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)裝置、硅片真空吸盤(pán)以及墨盒,硅片真空吸盤(pán)設(shè)置于轉(zhuǎn)盤(pán)上,硅片真空吸盤(pán)上設(shè)置有通孔,轉(zhuǎn)盤(pán)中設(shè)置有空腔,硅片真空吸盤(pán)上的通孔與該空腔貫通,空腔的氣閥接口連接吸氣裝置,所述的墨盒設(shè)置于硅片真空吸盤(pán)的上方,其下表面設(shè)置有用于對(duì)二極管硅片上色的海綿。
所述的吸氣裝置包括真空吸泵、氣管、氣閥以及腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān),腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān)一端通過(guò)氣管連接空腔的氣閥接口,腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān)的另一端通過(guò)氣管連接氣閥,氣閥與真空吸泵通過(guò)氣管連接。
所述的轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)裝置包括直流并激電動(dòng)機(jī)、直流電機(jī)調(diào)速器和渦輪減速機(jī),直流電機(jī)調(diào)速器與直流并激電動(dòng)機(jī)連接,直流并激電動(dòng)機(jī)與渦輪減速機(jī)通過(guò)齒輪連接,渦輪減速機(jī)的輸出端通過(guò)鏈條連接設(shè)置于轉(zhuǎn)盤(pán)下部的鏈輪。
所述的墨盒側(cè)面設(shè)置有墨盒手柄。
本發(fā)明的有益效果為因?yàn)楸景l(fā)明的二極管硅片上色裝置將硅片真空吸盤(pán)固定于轉(zhuǎn)盤(pán)上,轉(zhuǎn)盤(pán)內(nèi)設(shè)置空腔,硅片真空吸盤(pán)上設(shè)置有通孔,該通孔與轉(zhuǎn)盤(pán)內(nèi)的空腔貫通,空腔的氣閥接口連接吸氣裝置,在使用時(shí),將二極管硅片放置于硅片真空吸盤(pán)上,然后通過(guò)吸氣裝置吸氣,使空腔內(nèi)形成負(fù)壓,將硅片吸引固定于硅片真空吸盤(pán)上,然后轉(zhuǎn)動(dòng)吸盤(pán),將墨盒調(diào)整到合適的高度,墨盒下表面的海綿與二極管硅片表面接觸,將墨均勻涂抹到二極管硅片表面上。通過(guò)以上設(shè)置,能夠提高二極管硅片表面上色的效率,而且上色均勻,節(jié)約墨,不會(huì)造成工作環(huán)境的污染。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明的示意圖;
圖2為本發(fā)明的轉(zhuǎn)盤(pán)和硅片真空吸盤(pán)的俯視圖;
圖中,1為轉(zhuǎn)盤(pán),2為硅片真空吸盤(pán),3為墨盒,4為通孔,5為空腔,6為氣閥接口,7為墨盒手柄,8為海綿,9為真空吸泵,10為氣管,11為氣閥,12為腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān),13為直流并激電動(dòng)機(jī),14為直流電機(jī)調(diào)速器,15為渦輪減速機(jī)。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1和圖2所示的一種二極管硅片上色裝置,其包括轉(zhuǎn)盤(pán)1、轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)裝置、硅片真空吸盤(pán)2以及墨盒3,硅片真空吸盤(pán)2設(shè)置于轉(zhuǎn)盤(pán)1上,硅片真空吸盤(pán)2上設(shè)置有通孔4,轉(zhuǎn)盤(pán)1中設(shè)置有空腔5,硅片真空吸盤(pán)2上的通孔4與該空腔5貫通,空腔5的氣閥11接口6連接吸氣裝置,所述的墨盒3設(shè)置于硅片真空吸盤(pán)2的上方,其下表面設(shè)置有用于對(duì)二極管硅片上色的海綿8。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn):所述的吸氣裝置包括真空吸泵9、氣管10、氣閥11以及腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān)12,腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān)12一端通過(guò)氣管10連接空腔5的氣閥11接口6,腳踏氣門(mén)開(kāi)關(guān)12的另一端通過(guò)氣管10連接氣閥11,氣閥11與真空吸泵9通過(guò)氣管10連接;所述的轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)裝置包括直流并激電動(dòng)機(jī)13、直流電機(jī)調(diào)速器14和渦輪減速機(jī)14,直流電機(jī)調(diào)速器14與直流并激電動(dòng)機(jī)13連接,直流并激電動(dòng)機(jī)13與渦輪減速機(jī)14通過(guò)齒輪連接,渦輪減速機(jī)14的輸出端通過(guò)鏈條連接設(shè)置于轉(zhuǎn)盤(pán)1下部的鏈輪;所述的墨盒3側(cè)面設(shè)置有墨盒手柄7。
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





