[發(fā)明專利]二極管硅片上色裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110144534.8 | 申請日： | 2011-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN102231358A | 公開（公告）日： | 2011-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐謙;莊娟梅;王海燕 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州佳訊光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司;常州久和電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/00 | 分類號： | H01L21/00;H01L21/329 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人： | 何學(xué)成 |
| 地址： | 213181 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 二極管 硅片 上色 裝置 | ||
1.一種二極管硅片上色裝置，其特征在于：其包括轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)盤驅(qū)動裝置、硅片真空吸盤以及墨盒，硅片真空吸盤設(shè)置于轉(zhuǎn)盤上，硅片真空吸盤上設(shè)置有通孔，轉(zhuǎn)盤中設(shè)置有空腔，硅片真空吸盤上的通孔與該空腔貫通，空腔的氣閥接口連接吸氣裝置，所述的墨盒設(shè)置于硅片真空吸盤的上方，其下表面設(shè)置有用于對二極管硅片上色的海綿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管硅片上色裝置，其特征在于：所述的吸氣裝置包括真空吸泵、氣管、氣閥以及腳踏氣門開關(guān)，腳踏氣門開關(guān)一端通過氣管連接空腔的氣閥接口，腳踏氣門開關(guān)的另一端通過氣管連接氣閥，氣閥與真空吸泵通過氣管連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管硅片上色裝置，其特征在于：所述的轉(zhuǎn)盤驅(qū)動裝置包括直流并激電動機(jī)、直流電機(jī)調(diào)速器和渦輪減速機(jī)，直流電機(jī)調(diào)速器與直流并激電動機(jī)連接，直流并激電動機(jī)與渦輪減速機(jī)通過齒輪連接，渦輪減速機(jī)的輸出端通過鏈條連接設(shè)置于轉(zhuǎn)盤下部的鏈輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管硅片上色裝置，其特征在于：所述的墨盒側(cè)面設(shè)置有墨盒手柄。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
