[發(fā)明專利]以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法及其裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110130125.2 | 申請日： | 2011-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN102768013A | 公開（公告）日： | 2012-11-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚福來 | 申請（專利權(quán)）人： | 姚福來 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139 | 代理人： | 孫皓晨 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 探針 壓觸基板 線路 檢測 對位 方法 及其 裝置 | ||
1.一種以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法，其特征在于，包含有：
于一檢測臺上提供一能夠擺放待測基板的承放盤，該基板上具有多線路的檢測點(diǎn)；
使用該檢測臺上的一上影像感測器，于該承放盤上方感測該基板，并經(jīng)由調(diào)動(dòng)該承放盤以校正該基板的檢測點(diǎn)的基準(zhǔn)位置；及
使用該檢測臺上的一位置低于該上影像感測器的下影像感測器，于一跟隨該上影像感測器移動(dòng)的檢測模具下方，感測該模具底部的多探針，并經(jīng)由調(diào)動(dòng)該承放盤或該模具，以校對所述探針與該檢測點(diǎn)的基準(zhǔn)位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法，其特征在于：所述承放盤以自轉(zhuǎn)的方式調(diào)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法，其特征在于：所述上影像感測器能夠沿著一以上軸向位移至該承放盤上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法，其特征在于：所述下影像感測器固設(shè)于該檢測臺上，該模具跟隨該上影像感測器移動(dòng)至該下影像感測器上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位方法，其特征在于：所述下影像感測器能夠沿著一以上軸向位移至該模具下方。
6.一種以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位裝置，其特征在于，包含有：
一檢測臺；
一承放盤，樞置于該檢測臺上，該承放盤上擺放一待測基板，該基板上具有多線路的檢測點(diǎn)；
一上影像感測器，配置于該檢測臺上，能夠于該承放盤上方感測該基板，并經(jīng)由調(diào)動(dòng)該承放盤以校正該基板的檢測點(diǎn)的基準(zhǔn)位置；
一檢測模具，連結(jié)該上影像感測器，而能夠跟隨該上影像感測器移動(dòng)，該模具底部具有多探針；及
一下影像感測器，配置于該檢測臺上低于該上影像感測器的位置，能夠于該模具下方感測所述探針，并經(jīng)由調(diào)動(dòng)該承放盤或該模具，以校對所述探針與該檢測點(diǎn)的基準(zhǔn)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位裝置，其特征在于：所述檢測臺上具有一連結(jié)該承放盤的第一驅(qū)動(dòng)器，能夠驅(qū)動(dòng)該承放盤以自轉(zhuǎn)的方式調(diào)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位裝置，其特征在于：所述檢測臺上具有一連結(jié)該上影像感測器的第二驅(qū)動(dòng)器，能夠驅(qū)動(dòng)該上影像感測器沿著一以上軸向位移至該承放盤上方。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位裝置，其特征在于：所述下影像感測器固設(shè)于該檢測臺上，該模具跟隨該上影像感測器移動(dòng)至該下影像感測器上方。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述以探針壓觸基板線路檢測點(diǎn)的對位裝置，其特征在于：所述檢測臺上具有一連結(jié)該下影像感測器的第三驅(qū)動(dòng)器，能夠驅(qū)動(dòng)該下影像感測器沿著一以上軸向位移至該模具下方。
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