[發(fā)明專利]晶片封裝體及其形成方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110122210.4 | 申請日: | 2011-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN102244047A | 公開(公告)日: | 2011-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林超彥;林義航 | 申請(專利權(quán))人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31;H01L23/488;H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶片 封裝 及其 形成 方法 | ||
1.一種晶片封裝體,其特征在于,包括:
一承載基底;
一半導(dǎo)體基底,具有一上表面及一下表面,且設(shè)置于該承載基底之上;
一元件區(qū)或感測區(qū),位于該半導(dǎo)體基底的該上表面;
一導(dǎo)電墊,位于該半導(dǎo)體基底的該上表面;
一導(dǎo)電層,電性連接該導(dǎo)電墊,且自該半導(dǎo)體基底的該上表面延伸至該半導(dǎo)體基底的一側(cè)壁上;以及
一絕緣層,位于該導(dǎo)電層與該半導(dǎo)體基底之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該半導(dǎo)體基底的該側(cè)壁傾斜于該半導(dǎo)體基底的該上表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該元件區(qū)或感測區(qū)于該上表面直接露出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該導(dǎo)電層延伸進入該承載基底中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片封裝體,其特征在于,延伸進入該承載基底中的該導(dǎo)電層包括平行于該半導(dǎo)體基底的該上表面的部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該絕緣層延伸進入該承載基底中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,還包括一電路板,其中該承載基底設(shè)置于該電路板之上,且該導(dǎo)電層通過一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)而與該電路板上的一接墊電性連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶片封裝體,其特征在于,該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括一焊球或一焊線。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶片封裝體,其特征在于,該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)為一焊球,且該焊球位于該承載基底與該電路板之間的一轉(zhuǎn)角處。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該元件區(qū)或感測區(qū)包括一指紋辨識區(qū)。
11.一種晶片封裝體的形成方法,其特征在于,包括:
提供一半導(dǎo)體基底,具有一上表面及一下表面,該半導(dǎo)體基底的該上表面處包括至少一元件區(qū)或感測區(qū)以及至少一導(dǎo)電墊;
提供一承載基底,并將該半導(dǎo)體基底設(shè)置于該承載基底之上;
自該半導(dǎo)體基底的該上表面形成一凹口;
于該半導(dǎo)體基底的該上表面上與該凹口之中形成一絕緣層;
于該絕緣層上形成一導(dǎo)電層,該導(dǎo)電層電性連接該導(dǎo)電墊,且自該半導(dǎo)體基底的該上表面延伸至該半導(dǎo)體基底的一側(cè)壁上;以及
自該凹口的一底部切斷該承載基底以形成多個分離的晶片封裝體。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該凹口延伸進入該承載基底之中。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該導(dǎo)電層延伸在該凹口的該底部上。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,還包括在形成該凹口之前將該半導(dǎo)體基底薄化。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該半導(dǎo)體基底的薄化包括:
在將該半導(dǎo)體基底設(shè)置于該承載基底之前,于該半導(dǎo)體基底的該上表面上設(shè)置一暫時性承載基底;以及
以該暫時性承載基底為支撐,自該半導(dǎo)體基底的該下表面薄化該半導(dǎo)體基底。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,還包括在形成該凹口之前,移除該暫時性承載基底。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,還包括:
提供一電路板,具有一接墊;
將該承載基底設(shè)置于該電路板之上;以及
形成一導(dǎo)電結(jié)構(gòu),該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)電性連接該接墊與該導(dǎo)電層。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括一焊球或一焊線。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)為一焊球,且該焊球位于該承載基底與該電路板之間的一轉(zhuǎn)角處。
20.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶片封裝體的形成方法,其特征在于,該元件區(qū)或感測區(qū)于該上表面直接露出。
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