[發(fā)明專利]太陽(yáng)能電池的電極的制造方法與裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110122206.8 | 申請(qǐng)日： | 2011-05-12 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102779894A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-11-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃博聲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 聯(lián)景光電股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/18 | 分類號(hào)： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)灣桃園縣*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽(yáng)能電池 電極 制造 方法 裝置 | ||
1.一種太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于，包括：
進(jìn)行雷射摻雜處理，以于基材上形成選擇性射極；
進(jìn)行雷射標(biāo)記處理，以于所述基材表面形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，其中在同一處理腔室進(jìn)行所述雷射摻雜處理與所述雷射標(biāo)記處理；以及
根據(jù)所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，進(jìn)行電極網(wǎng)印處理，于所述選擇性射極上形成電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于在進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理之前進(jìn)行所述雷射摻雜處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于在進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理之后進(jìn)行所述雷射摻雜處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于同時(shí)進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理與所述雷射摻雜處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于在所述基材的周邊區(qū)域形成所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造方法，其特征在于在所述選擇性射極上形成所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
7.一種太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于，包括：
處理腔室；
雷射光發(fā)射裝置，設(shè)置在所述處理腔室內(nèi)；以及
控制裝置，連接所述雷射光發(fā)射裝置，以控制所述雷射光發(fā)射裝置在所述處理腔室進(jìn)行雷射摻雜處理與雷射標(biāo)記處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述控制裝置控制所述雷射光發(fā)射裝置先進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理之后，再進(jìn)行所述雷射摻雜處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述控制裝置控制所述雷射光發(fā)射裝置先進(jìn)行所述雷射摻雜處理之后，再進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述控制裝置控制所述雷射光發(fā)射裝置同時(shí)進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理與所述雷射摻雜處理。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述雷射光發(fā)射裝置進(jìn)行所述雷射摻雜處理，以于基材上形成選擇性射極；以及
所述雷射光發(fā)射裝置進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理，以于所述基材上形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述雷射光發(fā)射裝置進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理，以于所述基材的周邊區(qū)域形成所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述雷射光發(fā)射裝置進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理，以于所述選擇性射極上形成所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的電極的制造裝置，其特征在于所述雷射光發(fā)射裝置包括：
摻雜雷射元件，發(fā)出摻雜雷射光以進(jìn)行所述雷射摻雜處理；以及
標(biāo)記雷射元件，發(fā)出標(biāo)記雷射光以進(jìn)行所述雷射標(biāo)記處理。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
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H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
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