[發明專利]一種金剛線切割硅片的清洗方法

有效

• 申請號: 201110111779.0
• 申請日: 2011-04-30
• 公開（公告）號: CN102225406A
• 公開（公告）日: 2011-10-26
• 發明（設計）人: 李畢武;唐傳兵;劉振淮;黃振飛
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B7/02
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種金剛線切割硅片的清洗方法，其特征是：金剛線切割的硅片首先經過脫膠粗洗處理，然后進行精洗，

硅片的脫膠粗洗處理經過多道清洗步驟，分別是：

1)在30～50℃水中清洗；

2)在堿性清洗劑中清洗，堿性清洗劑的pH＝9～10，溫度30～50℃；

3)在30～50℃水中清洗；

4)在50～70℃乳酸中清洗；

5)在30～50℃水中通過清洗；

6)在常溫水中清洗；

精洗工藝共經過多道清洗步驟和烘干處理，分別是：

1)在堿性清洗劑中清洗，堿性清洗劑的pH＝9～10，溫度70～90℃，該清洗步驟，配制1～3道；

2)在40～60℃水中清洗，該清洗步驟，配制1～3道；

3)在60～80℃水中清洗，該清洗步驟，配制1～3道；

4)硅片烘干，該烘干步驟，配制1～3道。

2.根據權利要求1所述的一種金剛線切割硅片的清洗方法，其特征是：具體步驟如下

(一)、金剛線切割的硅片進行脫膠粗洗工藝，粗洗工藝經過6個水槽清洗，步驟如下：

1.在30～50℃水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

2.在堿性清洗劑中通過搖動、噴水和超聲波清洗，堿性清洗劑的pH＝9～10，溫度30～50℃；

3.在30～50℃水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

4.在乳酸中通過搖動、噴水清洗，乳酸的溫度為60℃；

5.在40℃水中通過搖動、噴水清洗；

6.在常溫水中搖動清洗；

(二)、經過脫膠后的硅片進行精洗工藝，精洗工藝共經過7個水槽清洗和兩步烘干處理，步驟如下：

1.在堿性清洗劑中通過搖動、噴水和超聲波清洗，堿性清洗劑的pH＝9～10，溫度70～90℃；

2.在堿性清洗劑中通過搖動和超聲波清洗，堿性清洗劑的pH＝9～10，溫度70～90℃；

3.在40～60℃水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

4.在40～60℃水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

5.在60～80℃純水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

6.在60～80℃純水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

7.在60～80℃純水中通過搖動、噴水和超聲波清洗；

8.在100℃溫度下搖動烘干；

9.在150℃溫度下搖動烘干。

3.根據權利要求2所述的一種金剛線切割硅片的清洗方法，其特征是：粗洗工藝的各步驟處理時間各800秒，精洗工藝的各步驟處理時間各300秒。