[發明專利]小滴單元與襯底處理設備

有效

• 申請號: 201110110415.0
• 申請日: 2011-04-29
• 公開（公告）號: CN102236215A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 金相淳;趙翊成;金義中
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1341
• 分類號: G02F1/1341
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種小滴單元(droplet?unit)和一種襯底處理設備，且更明確地說，涉及一種小滴單元和一種襯底處理設備，其防止在注入和排出源材料時形成粒子(particle)。

背景技術

用作顯示設備的陰極射線管(cathode?ray?tube，CRT)相對較大且較重。近來，正在使用例如液晶顯示裝置(liquid?display?device，LCD)、等離子體顯示面板(plasma?display?panel，PDP)、以及有機發光裝置(organiclight?emitting?device，OLED)等平面顯示面板來置換此種CRT，所述平面顯示面板輕便、細長且在功率消耗方面節約。

通過結合一對平面襯底來制造此平面顯示面板。舉例來說，為了制造液晶顯示面板，制造包含薄膜晶體管(thin?film?transistor)和像素電極(pixelelectrode)的下部襯底，以及包含彩色濾光片(color?filter)和共同電極(common?electrode)的上部襯底。然后，將液晶材料滴在下部襯底上，且結合并密封上部和下部襯底，以制造液晶顯示面板。

在這點上，使用液晶襯底處理設備來將液晶材料滴在襯底上。此液晶襯底處理設備包含放置著襯底的平臺(stage)，安置在平臺上方的臺架(gantry)，固定到臺架且彼此隔開并在排列方向上排列的小滴單元(dropletunit)，水平移動小滴單元的小滴單元移動部件(member)，以及安置在平臺上以水平移動臺架的臺架移動部件。小滴單元中的每一者包含儲存液晶材料的液晶儲存器(storage)，容納預定量的液晶材料的注射器(syringe)，在注射器內往復以將液晶材料供應到注射器中或將液晶材料從注射器排出的注射器桿(syringe?rod)，接收來自注射器的液晶材料并將液晶材料排出在襯底上的噴嘴(nozzle)，以及控制第一到第三管(tube)的打開和關閉的閥(valve)。第一管將液晶儲存器連接到閥，且第二管將注射器連接到閥，且第三管將閥連接到噴嘴。即，閥連接到第一到第三管中每一者的一端，以控制第一到第三管之間的連通。因此，將安置在注射器中的注射器桿移動到噴嘴的相反側，且閥打開第一和第二管以將來自容器的液晶材料供應到注射器。此外，將注射器移動到噴嘴，且閥打開第三管以將來自注射器的液晶材料供應到噴嘴并將液晶材料排出在襯底上。

如此，為了將液晶材料供應到注射器內或將液晶材料從注射器中排出，注射器桿在注射器內往復。當注射器桿在注射器內往復時，注射器桿接觸注射器的內壁。因此，內壁與注射器桿之間的摩擦致使形成粒子。此外，在粒子與液晶材料混合時，污染了液晶材料，此舉可造成裝置的缺陷。

閥可為電子閥，所述電子閥使用電信號以控制第一到第三管之間的連通。此電子閥可具有頻繁的信號誤差。因此，在閥打開第一與第二管以將液晶材料注入到注射器中時，信號誤差可致使第三管被打開，且因此造成泄漏。因此，可能難以將液晶材料注入到注射器中。此外，在打開第三管以將來自注射器的液晶材料供應到噴嘴時，信號誤差可致使第一與第二管被打開，且因此造成泄漏。因此，可能難以將來自注射器的液晶材料供應到噴嘴。因此，可在將液晶材料滴在襯底上的過程中產生產品的缺陷，或者可延遲處理時間。

發明內容

本發明提供一種小滴單元和一種襯底處理設備，其防止在注入和排出源材料時歸因于粒子的源材料的污染。

根據示范性實施例，小滴單元包含：抽吸部分，其包括具有容納源材料的抽吸空間的主體，以及覆蓋抽吸空間的側部分的壓力調整膜，壓力調整膜經配置以彈性地變形；注入部分，其連接到抽吸空間以將源材料注入到抽吸空間；排出部分，其連接到抽吸空間以將源材料從抽吸空間排出；第一閥，其具有連接到注入部分的一端，第一閥的連通是根據抽吸部分的壓力調整膜的彈性變形方向來控制；以及第二閥，其具有連接到排出部分的一端，第二閥的連通是根據抽吸部分的壓力調整膜的彈性變形方向來控制。

在壓力調整膜彈性地變形時，可打開第一與第二閥中的一者，并可關閉另一者。

小滴單元可包含操作部分，所述操作部分連接到壓力調整膜，以將壓力調整膜彈性地變形到抽吸空間或到與抽吸空間相對的側。

抽吸部分可包含固定部分，所述固定部分安置于壓力調整膜上方，以將壓力調整膜固定到主體。

固定部分可在至少一個部分中具有通孔，且可將操作部分的一個部分嵌入至通孔中。