[發(fā)明專利]小滴單元與襯底處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110110415.0
• 申請日: 2011-04-29
• 公開（公告）號: CN102236215A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金相淳;趙翊成;金義中
• 申請（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1341
• 分類號: G02F1/1341
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種小滴單元，其包括：

抽吸部分，其包括具有容納源材料的抽吸空間的主體，以及覆蓋所述抽吸空間的側(cè)部分的壓力調(diào)整膜，所述壓力調(diào)整膜經(jīng)配置以彈性地變形；

注入部分，其連接到所述抽吸空間，以將所述源材料注入到所述抽吸空間；

排出部分，其連接到所述抽吸空間，以將所述源材料從所述抽吸空間排出；

第一閥，其具有連接到所述注入部分的一端，所述第一閥的連通是根據(jù)所述抽吸部分的所述壓力調(diào)整膜的彈性變形方向來控制；以及

第二閥，其具有連接到所述排出部分的一端，所述第二閥的連通是根據(jù)所述抽吸部分的所述壓力調(diào)整膜的彈性變形方向來控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中在所述壓力調(diào)整膜彈性地變形時，所述第一閥與第二閥中的一者打開，且另一者關(guān)閉。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其包括操作部分，所述操作部分連接到所述壓力調(diào)整膜，以將所述壓力調(diào)整膜彈性地變形到所述抽吸空間或到與所述抽吸空間相對的側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中所述抽吸部分包括固定部分，所述固定部分安置于所述壓力調(diào)整膜的上方以將所述壓力調(diào)整膜固定到所述主體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的小滴單元，其中所述固定部分在至少一個部分中具有通孔，且所述操作部分的一個部分嵌入至所述通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的小滴單元，其中所述操作部分包括連接到所述壓力調(diào)整膜的操作軸，以及將垂直移動力施加到所述操作軸的動力部分，且

所述操作軸穿過所述固定部分的所述通孔并在所述抽吸部分的開口上連接到所述壓力調(diào)整膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的小滴單元，其中所述壓力調(diào)整膜具有連接到所述操作軸的區(qū)域，且

至少所述區(qū)域彈性地變形到所述抽吸空間或到與所述抽吸空間相對的所述側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的小滴單元，其中穿過所述固定部分的所述通孔且連接到所述壓力調(diào)整膜的所述操作軸的直徑小于所述固定部分的所述通孔和所述抽吸空間的內(nèi)部直徑。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中所述第一閥的另一端連接到將所述源材料供應(yīng)到所述第一閥的第一供應(yīng)管，且

所述第二閥的另一端連接到將所述源材料從所述第二閥排出的第二供應(yīng)管。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中所述第一閥與第二閥包括止回閥。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中在所述壓力調(diào)整膜彈性地變形到與所述抽吸空間相對的側(cè)以減少所述抽吸空間的壓力時，所述第一閥打開，且所述第二閥關(guān)閉。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中在所述壓力調(diào)整膜彈性地變形到所述抽吸空間以增加所述抽吸空間的壓力時，所述第一閥關(guān)閉，且所述第二閥打開。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小滴單元，其中所述源材料包括液晶材料。

14.一種襯底處理設(shè)備，其包括：

放置著襯底的平臺；

安置在所述平臺上方的臺架，以及

小滴單元，固定到所述臺架上并將源材料排出在所述襯底上，

其中所述小滴單元包括：

抽吸部分，其包括具有容納所述源材料的抽吸空間的主體，以及覆蓋所述抽吸空間的側(cè)部分的壓力調(diào)整膜，所述壓力調(diào)整膜經(jīng)配置以彈性地變形；

注入部分，其連接到所述抽吸空間，以將所述源材料注入到所述抽吸空間；

排出部分，其連接到所述抽吸空間，以將所述源材料從所述抽吸空間排出；

第一閥，其具有連接到所述注入部分的一端，所述第一閥的連通是根據(jù)所述抽吸部分的所述壓力調(diào)整膜的彈性變形方向來控制；以及

第二閥，其具有連接到所述排出部分的一端，所述第二閥的連通是根據(jù)所述抽吸部分的所述壓力調(diào)整膜的彈性變形方向來控制。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的襯底處理設(shè)備，其中在所述壓力調(diào)整膜彈性地變形時，所述第一閥與第二閥中的一者打開，且另一者關(guān)閉。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的襯底處理設(shè)備，其中在所述壓力調(diào)整膜彈性地變形到與所述抽吸空間相對的側(cè)以減少所述抽吸空間的壓力時，所述第一閥打開，且所述第二閥關(guān)閉。