[發(fā)明專利]濾色片基板檢查方法及檢查裝置

無效

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• 申請日: 2011-04-27
• 公開（公告）號: CN102297874A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設計）人: 中野朝雄;齊藤純一;崔海龍;稻葉克彥;野野口雅弘
• 申請（專利權）人: 株式會社理學;凸版印刷株式會社
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01N21/958
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 胡建新

技術領域

本發(fā)明涉及在液晶顯示裝置的裝配工序之前檢查附著在液晶顯示裝置中所利用的基板上的微小異物的方法和裝置。

背景技術

眾所周知，液晶顯示裝置是如下的顯示裝置：在2張基板之間封入液晶，在設置于這2張基板的電極間施加電壓來按照每個像素驅動上述液晶，使其光學性質變化，從而控制光的透過和遮斷來進行畫面顯示。

作為這些基板，通常使用以玻璃板為基材，在該基材上設置液晶驅動用的電極的基板。設置于這2張基板之中的一方的基板的電極是透明的，例如利用ITO的薄膜。設置于另一方的基板的電極根據(jù)液晶驅動形式不同而不同，例如是按照每個像素配列的大量的透明電極或反射電極，配列有與這些大量的電極分別連接的大量TFT。

此外，這些基板上有時設置有對顯示光進行著色的濾色片膜。濾色片膜由與上述像素相對應地配列的大量著色膜構成，例如，紅(R)、綠(G)、藍(B)的著色膜與各自的像素相對應地配列。通過利用具有相關的濾色片膜的基板，能夠進行彩色畫面的顯示。另外，具備濾色片膜的基板有時也稱為“濾色片”。

此外，因此，構成液晶顯示裝置的這些基板經(jīng)過玻璃板的表面清洗工序、電極的附膜工序及其圖案形成工序、或者再加上TFT形成工序和濾色片膜形成工序等大量的復雜的工序而制造。

這些基板的各制造工序通常在無塵室內(nèi)進行，但是即便如此，在這些復雜的制造工序的某一個中，有時在基板上附著微小異物。異物的由來被認為是無塵室內(nèi)的空氣中浮游的塵埃。

在組裝液晶顯示裝置時，基板上附著的異物有時會損傷對置的基板表面。因此，附著了異物的基板作為不合格品從液晶顯示裝置組裝工序除去，只能進行修補或者回收玻璃基材而再利用，或者直接廢棄。

但是，在這些異物之中，已知損傷對置的基板的異物為徑30μm以上。此外，根據(jù)制造的液晶顯示裝置不同，有時徑20μm以上的異物也會損傷對置的基板。因此，異物大小比這小時，直接作為合格品來用于液晶顯示裝置的組裝。

但是，這些異物之中有些具有導電性。若使用附著了這樣的導電性異物的基板來對液晶顯示裝置進行組裝，則對置的2張上述基板的電極之間發(fā)生短路，難以進行正常的畫面顯示。而且，該短路在導電性異物的徑小于20μm時也會發(fā)生。

在此，將附著在基板上的異物區(qū)分為導電性的情況與非導電性的情況，導電性的情況下無論其徑大小均從液晶顯示裝置組裝工序除去，非導電性的情況下僅在其徑比20μm或30μm大時需要從液晶顯示裝置組裝工序除去。這是因為，如果對導電性和非導電性不作區(qū)別而將附著有徑較小的異物的基板一起除去，則能夠作為合格品使用的基板也被除去，成品率明顯降低。此外，如果對導電性和非導電性不作區(qū)別而將附著有徑較小的異物的基板一起用于液晶顯示裝置組裝工序，則被組裝的液晶顯示裝置成為不合格品，結果增大了損失。

但是，檢查這樣的微小異物的導電性的有無是非常困難的。由于這些導電性異物也是來自無塵室內(nèi)的空氣中浮游的塵埃，其表面有時被氧化了。而且，在液晶顯示裝置組裝工序中異物表面的氧化皮膜被破壞而露出導電性的內(nèi)部，從而引起短路，使液晶顯示裝置組裝前的基板制造工序中的該檢查更加困難。

而且，該檢查必須不使基板制造工序延遲地迅速且高效地進行。假設耗費時間進行檢查，則該檢查工序成為瓶頸工序，基板制造工序整體顯著延遲。

例如，專利文獻1及2記載有檢查附著在基板上的異物的有無有及其高度的方法，但是這些方法無法檢查導電性的有無。

此外，專利文獻3記載有對液晶顯示裝置進行組裝后，檢查其電極之間的短路的有無的方法，但是該方法將短路的液晶顯示裝置整體作為不合格品來處理。

在先技術文獻

專利文獻1：日本特開2004-177192號公報

專利文獻2：日本特開2006-300892號公報

專利文獻3：日本特開平11-73132號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是基于以上的情況而做出的，其目的在于，提供一種從導電性的觀點出發(fā)檢查附著在基板上的異物的方法，特別是提供一種在基板制造工序中利用而高效地檢查的方法。

此外，本發(fā)明同時提供一種適用于該檢查方法的檢查裝置。