[發明專利]濾色片基板檢查方法及檢查裝置無效
| 申請號： | 201110106069.9 | 申請日： | 2011-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN102297874A | 公開（公告）日： | 2011-12-28 |
| 發明（設計）人： | 中野朝雄;齊藤純一;崔海龍;稻葉克彥;野野口雅弘 | 申請（專利權）人： | 株式會社理學;凸版印刷株式會社 |
| 主分類號： | G01N23/223 | 分類號： | G01N23/223;G01N21/958 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濾色片基板 檢查 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢查方法，檢查液晶顯示裝置用的基板上附著的異物中是否含有金屬元素，其特征在于，包括以下步驟：
測定上述基板的異物所附著的部位的熒光X射線光譜，
在與上述比較用光譜進行了比較的基礎上，
判定上述異物是否含有金屬元素，并且使用上述比較用光譜對被判別為不含有金屬異物的部位的單獨或者多個數據進行處理，從而使基板固有的熒光X射線光譜高精度化，提高金屬異物的檢查精度和檢查速度。
2.一種檢查裝置，檢測液晶顯示裝置用的基板上附著的含有金屬元素的異物，其特征在于，具備：
把持機構，把持上述液晶顯示裝置用的基板；
檢查頭，搭載有熒光X射線分析部件；
移動機構，使上述檢查頭與上述基板的規定位置對準；
檢查單元，比較存在異物的部位和不存在異物的部位的熒光X射線光譜，檢查上述異物中是否包含金屬元素；以及
控制單元，控制這些把持機構、檢查頭、移動機構及檢查單元。
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