[發(fā)明專利]鍍膜件的制備方法及由該方法制得的鍍膜件無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110100665.6 | 申請日: | 2011-04-21 |
| 公開(公告)號: | CN102747333A | 公開(公告)日: | 2012-10-24 |
| 發(fā)明(設計)人: | 張新倍;陳文榮;蔣煥梧;陳正士;林順茂 | 申請(專利權)人: | 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35;C23C14/14 |
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| 地址: | 518109 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 鍍膜 制備 方法 法制 | ||
技術領域
本發(fā)明涉及一種鍍膜件的制備方法及由該方法制得的鍍膜件。
背景技術
為在基材表面獲得合金涂層,常采用熱浸鍍或熱噴涂的方法。金屬銅(Cu)和鐵(Fe)價格低廉,性能優(yōu)良,在工業(yè)上有著廣泛的應用。然而由于銅和鐵的混合熱為正值,合金熔煉的過程中銅鐵合金易發(fā)生亞穩(wěn)相分解(Spinodal分解),分解成富銅相和富鐵相;高溫急冷時,銅和鐵也會發(fā)生相分離。由于熱浸鍍或熱噴涂均需要對合金原料進行熔煉,因此采用熱浸鍍或熱噴涂的方法在基材表面較難形成穩(wěn)定的銅鐵合金層。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,有必要提供一種可形成穩(wěn)定的銅鐵合金層的鍍膜件的制備方法。
另外,還有必要提供一種由上述方法所制得的披覆有銅鐵合金層的鍍膜件。
一種鍍膜件的制備方法,其包括如下步驟:
提供基材;
采用粉末冶金法,以金屬銅粉和鐵粉為原料制備銅鐵復合靶;
采用磁控濺射法,以上述步驟制備的銅鐵復合靶為靶材,在基材表面濺射形成銅鐵合金層。
一種鍍膜件包括基材及形成于基材上的銅鐵合金層,該銅鐵合金層采用濺射法形成。
本發(fā)明鍍膜件的制備方法在形成銅鐵合金層時,采用PVD鍍膜技術,通過制備銅鐵復合靶和對濺射溫度的控制,從而于基材表面形成超飽和的銅鐵合金層。所述鍍膜件的制備方法工藝穩(wěn)定、可靠且環(huán)保。
附圖說明
圖1是本發(fā)明一較佳實施例鍍膜件的剖視圖。
圖2為本發(fā)明一較佳實施例真空鍍膜機的俯視示意圖。
主要元件符號說明
如下具體實施方式將結合上述附圖進一步說明本發(fā)明。
具體實施方式
本發(fā)明一較佳實施方式的鍍膜件10(如圖1所示)的制備方法包括如下步驟:
提供基材11,該基材11的材質可為不銹鋼或銅合金。
對基材11進行預處理。該預處理包括常規(guī)的除油、除蠟、酸洗、中和、去離子水清洗、烘干等步驟。
請參閱圖2,提供一真空鍍膜機20,該真空鍍膜機20包括一鍍膜室21及連接于鍍膜室21的一真空泵30,真空泵30用以對鍍膜室21抽真空。該鍍膜室21內(nèi)設有轉架(未圖示)和相對設置的二銅鐵復合靶23。轉架帶動基材11沿圓形的軌跡25公轉,且基材11在沿軌跡25公轉時亦自轉。
所述銅鐵復合靶23中銅和鐵的質量比介于1:4和4:1之間。該銅鐵復合靶23的制備采用常規(guī)的粉末冶金的方法,使用的原料為金屬銅粉和金屬鐵粉,其中金屬銅粉的純度>99.9%,金屬銅粉的粒徑為10~50μm;金屬鐵粉的純度>99.9%,金屬鐵粉的粒徑為10~50μm;按上述配比將金屬銅粉及金屬鐵粉放入一球磨機(未圖示)中進行球磨120~200min,使它們混合均勻,然后取一定量的球磨后的混合物進行熱等靜壓制成一坯體,經(jīng)1300~1500℃燒結2~2.5h,再自然冷卻即可。
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- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





