[發明專利]MEMS光閥、顯示裝置及其形成方法有效

申請號：	201110097110.0	申請日：	2011-04-18
公開（公告）號：	CN102243369A	公開（公告）日：	2011-11-16
發明（設計）人：	毛劍宏;唐德明	申請（專利權）人：	上海麗恒光微電子科技有限公司
主分類號：	G02B26/02	分類號：	G02B26/02;G02B5/18;G09G3/34
代理公司：	北京集佳知識產權代理有限公司 11227	代理人：	駱蘇華
地址：	201203 上海市浦東新區張江***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	mems 顯示裝置及其形成方法
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【說明書】：

技術領域

本發明的實施例涉及顯示技術領域，尤其涉及一種MEMS光閥、顯示裝置及其形成方法。?

背景技術

由于液晶顯示裝置具有輕、薄、占地小、耗電小和輻射小等優點，被廣泛應用于各種電子產品中，例如電視、筆記本電腦、移動電話、個人數字助理等。然而由于液晶顯示裝置采用白光作為背光源，只有白光中的偏振光通過液晶顯示裝置中的液晶層，并且在通過彩色濾光板時又會損失一部分偏振光，光的利用率低。此外，液晶顯示裝置還具有視覺范圍小、結構復雜、成本高等缺陷。?

隨著MEMS技術的發展，MEMS技術也廣泛應用于顯示裝置中。利用高速高效的MEMS光閥替換液晶層，通過MEMS光閥控制背光源發出的光的透過率，不再需要偏光片、彩色濾光板以及ITO電極，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制造成本。?

請參考圖1，現有技術的具有MEMS光閥的顯示裝置包括：?

背光源10；用于反射背光源10發射的光線的反光鏡20；固定光柵30，所述固定光柵30具有開口31；與所述固定光柵30相對設置的可動光柵40，所述可動光柵40設置于卡口(未圖示)內；與所述可動光柵40相連的感應電極50；以及與所述感應電極50相對的驅動電極60；與所述驅動電極60相連的TFT開關70。所述驅動電極60和所述感應電極50在TFT開關70的驅動下，帶動可動光柵40水平方向移動，當固定光柵30的開口31被可動光柵40擋住時，從背光源10?中發射的光線不能透過開口31，當固定光柵30的開口31未被可動光柵40擋住時，從背光源10中發射的光線可以透過開口31。?

由于現有技術的可動光柵在驅動電極和感應電極的帶動下水平移動，受重力的影響，可動光柵水平運動時與卡口之間產生的摩擦力較大，驅動所述可動光柵需要更大的驅動力，現有技術的顯示裝置靈敏度較低。?

公開號為US7271945B2的美國專利公開了一種MEMS顯示裝置，在此專利申請文件中，MEMS顯示裝置的結構較復雜，且不能很好的解決靈敏度低的問題。?

發明內容

本發明的實施例解決的問題是提供一種靈敏度高的MEMS光閥、顯示裝置及其形成方法。

為解決上述問題，本發明的實施例提供了一種MEMS光閥，包括：?

固定光柵，所述固定光柵具有第一透光部；?

與所述固定光柵相對的可動光柵，所述可動光柵具有第二透光部；?

中心軸，所述可動光柵以所述中心軸為中心旋轉，所述第二透光部與所述第一透光部隨所述可動光柵的旋轉而重疊或錯開。?

可選地，本發明的實施例的MEMS光閥還包括：與所述可動光柵相連的感應電極；與所述感應電極相對的驅動電極，所述感應電極和所述驅動電極構成電容，其相對運動，以帶動所述可動光柵旋轉。?

可選地，所述感應電極的厚度為20nm～10μm；所述驅動電極的厚度為20nm～10μm。?

可選地，所述感應電極和驅動電極之間的距離為0.5μm～50μm。?

可選地，所述中心軸的形狀為圓柱、圓臺、圓錐中的一種。?