[發明專利]減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備

有效

• 申請號: 201110093500.0
• 申請日: 2011-04-12
• 公開（公告）號: CN102738295A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 陳其成
• 申請（專利權）人: 聯景光電股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，適用于一太陽能電池的蝕刻工藝，其特征在于該設備至少包括：

一蝕刻槽；

一給藥管，設置于該蝕刻槽內；以及

一氣泡引導裝置，包覆該給藥管，以便引導自該給藥管排出的氣泡往該給藥管的端部移動。

2.根據權利要求1所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該氣泡引導裝置包括一濾網。

3.根據權利要求2所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該氣泡引導裝置還包括一固定件，設置于該給藥管中段用以固定該濾網。

4.根據權利要求2所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該氣泡引導裝置還包括至少一支撐件，設置于該給藥管的該端部用以支撐該濾網。

5.根據權利要求1所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該給藥管在該端部之間設有多個藥液出口。

6.根據權利要求1所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該設備還包括一給藥槽，連接至該給藥管，以連續供應一蝕刻藥液至該蝕刻槽內。

7.根據權利要求6所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該設備還包括一馬達，用以抽取該給藥槽內的該蝕刻藥液到該蝕刻槽內。

8.根據權利要求6所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該設備還包括一藥液回收管，自該蝕刻槽連接至該給藥槽，以循環供應該蝕刻藥液。

9.根據權利要求1所述的減少太陽能電池表面的蝕刻痕的設備，其特征在于該設備還包括一硅晶基板移動裝置，設于該蝕刻槽內的該給藥管上方。

10.根據權利要求9所述的減少太陽電池表面的能蝕刻痕的設備，其特征在于該硅晶基板移動裝置包括多個移動滾輪，以帶動一硅晶基板連續移動。