[發(fā)明專利]電子發(fā)射器件、電子束裝置和圖像顯示裝置的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110090187.5
• 申請日: 2011-04-12
• 公開（公告）號: CN102222591A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 廣木珠代
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02;H01J29/04;H01J31/12
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 楊國權(quán)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子發(fā)射器件、使用該電子發(fā)射器件的電子束裝置和使用該電子束裝置的圖像顯示裝置的制造方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)上，已知一類電子發(fā)射器件，在該電子發(fā)射器件中從陰極發(fā)射并且撞到與該陰極相對的柵極電極的許多電子被散射，并且然后作為電子被取出。作為以這種方式發(fā)射電子的器件，日本專利申請公開No.2009-272298討論了一種層疊型電子發(fā)射器件。在該發(fā)明中，電子發(fā)射器件包括：絕緣部件，在其表面上具有凹部；陰極，具有位于該絕緣部件的外表面和該凹部的內(nèi)表面上方的突起；柵極，位于該絕緣部件的外表面處并與該突起相對；以及陽極，經(jīng)由該柵極與該突起相對地被放置。

在日本專利申請公開No.2009-272298中討論的電子發(fā)射器件能夠減少電子發(fā)射特性隨時間推移的劣化。然而，在日本專利公開No.2009-272298中討論的電子發(fā)射器件中，在絕緣部件處形成凹部之后，在該凹部的開口處形成要作為陰極的凸部。由于在形成陰極的初始時間該凹部的開口是寬的，因此可能存在其中該陰極的材料能夠在該凹部內(nèi)四散(go?around)的情況，以使得該陰極的材料能夠引起該柵極和該陰極之間的漏電流。在該情況下，用于驅(qū)動電子源的電壓被施加在柵極和陰極之間。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種電子發(fā)射器件的制造方法，該電子發(fā)射器件包括：絕緣部件，具有在其表面上的凹部；柵極電極，與該凹部相對地被放置；以及陰極，具有位于該凹部的邊緣處并向該柵極電極突出的突起。該制造方法包括用于形成該凹部的步驟、用于在該凹部的邊緣處形成向該柵極電極突出的凸部之后形成陰極的步驟，并且依次執(zhí)行這些步驟。

根據(jù)以下參考附圖對示例性實施例的詳細描述，本發(fā)明的更多的特征和方面將變得明顯。

附圖說明

被并入說明書中并組成說明書的一部分的附圖示出了本發(fā)明的示例性實施例、特征和方面，并與說明書一起用來說明本發(fā)明的原理。

圖1A至圖1D示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的電子發(fā)射器件的構(gòu)造。

圖2示出了在測量電子發(fā)射特性時的電位的構(gòu)造。

圖3A至圖3H示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的電子發(fā)射器件的制造方法。

圖4A至圖4D示出了在凹槽部入口處的凸部和視角之間的關(guān)系。

圖5A至圖5C示出了在凹槽部入口處的凸部的效果。

圖6A至圖6C示出了在示例性實施例和比較例中制造的電子發(fā)射器件的構(gòu)造。

圖7A至圖7G示出了根據(jù)第一示例性實施例的電子發(fā)射器件的制造方法。

圖8A至圖8E示出了根據(jù)比較例的電子發(fā)射器件的制造方法。

圖9示出了在第七示例性實施例中的圖像顯示裝置。

具體實施方式

下文將參考附圖詳細描述本發(fā)明的各種示例性實施例、特征和方面。

然而，只要沒有特別說明，在以下的示例性實施例中描述的構(gòu)造部分的尺寸、材質(zhì)、形狀和相對位置并不限制本發(fā)明的方面.

[器件的概要]

圖1A至圖1D是示出由根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的制造方法制造的電子發(fā)射器件的構(gòu)造的示意性視圖。圖1A是頂面視圖，圖1B是沿著在圖1A中的線A-A得到的截面視圖，而圖1D是在從圖1B中的箭頭方向觀察時的器件的側(cè)面視圖。

在圖1A至1D中，絕緣部件被布置于襯底1上。根據(jù)本示例性實施例的絕緣部件包括凹部7(下文中其可以被稱為“凹槽部”)。如在圖1B中所示出的，該絕緣部件由例如第一絕緣層3和第二絕緣層4構(gòu)成。在該構(gòu)造中，凹部7由第一絕緣層3的上表面的其上沒有形成第二絕緣層4的部分以及第二絕緣層4的側(cè)表面構(gòu)成。

在下文中，構(gòu)成凹部7的這兩個表面可以被稱為“凹槽部7的內(nèi)表面”。柵極電極5位于第二絕緣層4的表面處，與凹部7相對。凸部10位于凹部7的邊緣(凹槽部7的入口)處，并朝向柵極電極5突出。

在設(shè)置了凸部10之后，設(shè)置陰極6A，并且該陰極6A具有朝向柵極電極5突出的突起。沿著第一絕緣層3的側(cè)表面從其中設(shè)置有凸部10的凹部7的邊緣到襯底1上地設(shè)置陰極6A。間隙8是從陰極6A的突起的頂端到柵極電極5的底表面(與凹部7相對的部分)的最短距離。通過間隙8形成用于發(fā)射電子的電場。

電極2被設(shè)置在襯底1上并與陰極6A電連接。盡管在圖1中沒有示出，但是在經(jīng)由柵極電極5與陰極6A相對的位置處，電子發(fā)射器件包括與陰極6A的頂端相對地放置的陽極電極。陽極被設(shè)定為具有比其它部分(例如，柵極電極5、陰極6A和襯底1)高的電位。電子束裝置由陽極電極和圖1中的電子發(fā)射器件構(gòu)成。