[發明專利]電子發射器件、電子束裝置和圖像顯示裝置的制造方法

無效

• 申請號: 201110090187.5
• 申請日: 2011-04-12
• 公開（公告）號: CN102222591A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 廣木珠代
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02;H01J29/04;H01J31/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 楊國權

1.一種電子發射器件的制造方法，該電子發射器件包括絕緣部件、柵極電極以及陰極，該絕緣部件在該絕緣部件的表面上具有凹部，該柵極電極被形成在該絕緣部件的表面上并被布置為面向該凹部，該陰極包括向該柵極電極突出并布置在該凹部的邊緣處的突起部分，該制造方法按以下順序包括：

形成該凹部；以及

在形成在該凹部的邊緣處形成的并且向該柵極電極突出的凸部之后形成該陰極。

2.根據權利要求1的制造方法，

其中通過使用具有絕緣性能或者具有10^-4Ωm或更大電阻率的高電阻的材料來形成該凸部。

3.根據權利要求1的制造方法，

其中該凸部是通過氣相淀積方法來成膜的。

4.根據權利要求1的制造方法，

其中當形成該凸部時，該凸部的材料還同時在該柵極電極上成膜，

當形成該陰極時，該陰極的材料還同時在該柵極電極上成膜，

在形成該陰極之后，將在該柵極電極上成膜的該凸部的材料與在該柵極電極上成膜的該陰極的材料分離。

5.一種包括電子發射器件與陽極電極的電子束裝置的制造方法，該制造方法包括：

通過根據權利要求1的制造方法來制造電子發射器件；以及

將該陽極電極布置為與該陰極的頂端相對。

6.一種包括電子束裝置和光發射部件的圖像顯示裝置的制造方法，該制造方法包括：

通過根據權利要求5的制造方法來制造電子束裝置，

其中層疊光發射部件和陽極電極。

7.一種電子發射器件，包括：

絕緣部件，具有在該絕緣部件表面上的凹部；

柵極電極，被形成在該絕緣部件的表面上并被布置為面向該凹部；

陰極，包括向該柵極電極突出并被布置在該凹部的邊緣處的突起部分；以及

凸部，形成在該凹部的邊緣處并向該柵極電極突出。

8.根據權利要求7的電子發射器件，

其中該凸部由具有絕緣性能或者具有10^-4Ωm或更大的電阻率的高電阻的材料制成。

9.根據權利要求7的電子發射器件，

其中該凸部被形成為膜。

10.根據權利要求7的電子發射器件，

其中該柵極電極、該陰極以及該凸部的材料被形成為膜。