[發明專利]一種工件臺漏水保護裝置

無效

• 申請號: 201110087962.1
• 申請日: 2011-04-08
• 公開（公告）號: CN102736433A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 范哲光;齊芊楓
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及半導體制造設備技術領域，特別涉及一種工件臺漏水保護裝置。

背景技術

在大規模集成電路生產設備特別是光刻機中，各種器件集成度比較高，其中包括水、電等管線布置，尤其是在光刻機微動臺中。請參看圖1，圖1為現有技術的光刻機微動臺的結構示意圖。如圖1所示，微動臺底板10上分布有電機安裝座11、冷卻水管12、冷卻水接頭13、電氣接頭14、電氣線纜15。由于光刻機效率的提高，微動臺運動加速度、速度增大，容易造成水管接頭松動而發生漏水現象，另外，水管接頭及密封設施的老化也會導致漏水現象。在微動臺中，水管接頭和電氣接頭集成度非常高，漏水勢必會導致電氣設備不能正常工作，導致光刻機癱瘓。目前解決防止微動臺漏水的常用做法之一是在管道中增加壓力傳感器，但這種方法只能檢測大流量漏水，無法檢測少量滲水的現象，而少量滲水也會給光刻機帶來同樣的危害；常用做法之二是在接頭附近安裝濕度傳感器，這種方法只能檢測局部范圍的滲水，而光刻機微動臺中分布有幾十個水管接頭，在每個水管接頭周圍都布置濕度傳感器顯然是很難做到的，并且給信號處理及控制帶來大量的工作，非常不合理。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種工件臺漏水保護裝置，以解決現有技術的工件臺無法在靈敏檢測出微動臺漏水情況的同時有效地防止漏水對微動臺造成損害的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種工件臺漏水保護裝置，所述工件臺包括：底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，所述漏水保護裝置包括漏水保護槽，所述漏水保護槽設置于所述底板中；所述漏水保護槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進行漏水保護的電氣部件的一側；所述漏水保護槽的底面及側面上均貼有隔水材料。

可選的，所述底板上分布的漏水保護槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護槽的底面中具有一處深度最深的最低點位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護槽中的水流均能夠匯集到所述最低點位置，在所述最低點位置處安裝有檢測傳感器。

可選的，所述底板中還設置有不能同所述相互貫通的漏水保護槽相貫通的獨立的漏水保護槽，每條所述獨立的漏水保護槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨立的漏水保護槽的底面中具有一處深度最深的最低點位置，使得流入所述獨立的漏水保護槽中的水流均能夠匯集到所述最低點位置，在所述最低點位置處安裝有檢測傳感器。

可選的，所述底板上分布的漏水保護槽為多條且相互獨立，所述每條獨立的漏水保護槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨立的漏水保護槽的底面中具有一處深度最深的最低點位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點位置，在所述最低點位置處安裝有檢測傳感器。

可選的，所述漏水保護槽內所述隔水材料之上的空隙內均填充有吸水材料。

可選的，所述吸水材料的表面同所述底板齊平。

可選的，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。

可選的，所述吸水材料為高吸水性樹脂或高吸水性塑料或海綿。

本發明提供的工件臺漏水保護裝置通過在微動臺底板上設置漏水保護槽將底部上所有可能漏水或可能被漏水損壞的部件圍圈保護起來，通過漏水保護槽將微動臺底板上出現的漏水收集，使漏水不會影響微動臺底板上電氣部件的運行。少量漏水被漏水保護槽內的吸水材料吸附，不會影響其他電氣部件，大量漏水則可很快匯集到漏水保護槽的最低點位置，通過安裝于最低點位置的檢測傳感器發出漏水信號。本發明的工件臺漏水保護裝置可以根據需要設計微動臺底板中漏水保護槽的分布，實現對微動臺底板全范圍內保護，不影響微動底板的正常功能及性能，可保證各部件正常安裝，并能保證其精度，同時滿足剛度及強度要求。漏水被集中于漏水保護槽中的一處位置進行檢測，結構簡單，使用的傳感器少，便于檢測和控制，節約成本。

附圖說明

圖1為現有技術的光刻機微動臺的結構示意圖；

圖2為本發明的工件臺漏水保護裝置的結構示意圖；

圖3為本發明的工件臺漏水保護裝置上的漏水保護槽的剖面結構示意圖；

圖4為本發明的工件臺漏水保護裝置上的漏水保護槽的分布結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面對本發明的具體實施方式做詳細的說明。