[發(fā)明專(zhuān)利]一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110087962.1
• 申請(qǐng)日: 2011-04-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102736433A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范哲光;齊芊楓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，所述工件臺(tái)包括：底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，其特征在于，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料。

2.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。

3.如權(quán)利要求2所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板中還設(shè)置有不能同所述相互貫通的漏水保護(hù)槽相貫通的獨(dú)立的漏水保護(hù)槽，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。

4.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互獨(dú)立，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。

5.如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述漏水保護(hù)槽內(nèi)所述隔水材料之上的空隙內(nèi)均填充有吸水材料。

6.如權(quán)利要求5所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料的表面同所述底板齊平。

7.如權(quán)利要求5所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料為高吸水性樹(shù)脂或高吸水性塑料或海綿。

8.如權(quán)利要求1所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。