[發明專利]腔式石墨舟

有效

• 申請號: 201110082405.0
• 申請日: 2011-04-01
• 公開（公告）號: CN102181846A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 張志勇
• 申請（專利權）人: 石金精密科技（深圳）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

技術領域

本發明涉及石墨舟技術領域，尤其涉及一種腔式石墨舟。

背景技術

石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，現有的太陽能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟，其舟片數通常為11至19片，且石墨舟的兩個電極均在石墨舟的同一側，分為上電極和下電極。

現有的管式石墨舟，由于其舟片數相對較少，兩個電極在同一側，而且管式石墨舟的容量較小，導致石墨舟加工硅片時反應速度慢，加工時間長，生產效率低。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種載片量大、生產效率高的腔式石墨舟。

為了達到上述目的，本發明提出一種腔式石墨舟，包括舟片、位于所述石墨舟左右兩端的左、右電極，所述舟片包括與所述左電極導電連接的左電極片以及與所述右電極導電連接的右電極片。

優選地，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。

優選地，所述舟片通過設置在該舟片一側的連接片與相應電極導電連接。

優選地，每一舟片一側的連接片包括上下兩個，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。

優選地，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設有用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數的舟號柱。

優選地，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設有兩個，每一端的兩所述支撐腳分別設置在所述左電極或右電極的兩側。

優選地，所述支撐腳底部設有與外部運轉小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。

優選地，所述舟片數量為21-41片。

優選地，所述舟片上設有裝載硅片的硅片位，每個舟片上設有至少6個硅片位。

優選地，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。

本發明提出的一種腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設置在石墨舟的左右兩端，改變現有的石墨舟的電極結構，各舟片相應分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設置用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數的舟號柱，使得石墨舟更加智能化，其自動化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發明不僅結構新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產效率。

附圖說明

圖1是本發明腔式石墨舟一實施例的立體結構示意圖；

圖2是本發明腔式石墨舟一實施例的主視圖。

為了使本發明的技術方案更加清楚、明了，下面將結合附圖作進一步詳述。

具體實施方式

本發明技術方案總體思路是：通過在。

以下將結合附圖及實施例，對實現發明目的的技術方案作詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

如圖1及圖2所示，本發明一實施例提出一種腔式石墨舟，包括舟片10、位于石墨舟左右兩端的左、右電極40、50，舟片10包括與左電極40導電連接的左電極片102以及與右電極40導電連接的右電極片103。

其中，左電極片102與右電極片103間隔排列，各左電極片102及右電極片103之間通過陶瓷桿(圖中未示出)連接；陶瓷桿上套有陶瓷套。

在本實施例中，每一舟片10的一側均設有兩個連接片101，通過該連接片101與相應電極導電連接。具體地，對于左電極片102，在其左端上下分別設有兩個連接片101，各左電極片102的連接片101之間通過石墨隔塊60隔離，各連接片101通過石墨隔塊60與位于下方的左電極40導電連接。同理，對于右電極片103依此原理設置。

石墨舟的左右兩端各設有兩個支撐腳20，每一端的兩支撐腳20分別設置在左電極40或右電極50的兩側，即左電極40的兩側分別設置有一個支撐腳20；右電極50的兩側分別設置有一個支撐腳20。

本實施例中，支撐腳20的底部設有圓弧形凹槽201，其作用是：在運輸石墨舟至PECVD真空鍍膜設備時，通過支撐腳20底部的圓弧形凹槽201與外部運轉小車上固定柱配合，將石墨舟固定在運轉小車上，然后通過運轉小車將石墨舟送至PECVD真空鍍膜設備對硅片進行鍍膜加工，從而提高了石墨舟的使用安全性。

此外，為了實現石墨舟的智能化工作，提高石墨舟的自動化程度，本實施例在位于舟片10上面的連接片101之間的石墨隔塊上設有舟號柱70，用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數。