[發(fā)明專利]腔式石墨舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110082405.0
• 申請(qǐng)日: 2011-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN102181846A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 石金精密科技（深圳）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國(guó)

1.一種腔式石墨舟，包括舟片，其特征在于，還包括：位于所述石墨舟左右兩端的左、右電極，所述舟片包括與所述左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與所述右電極導(dǎo)電連接的右電極片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過(guò)陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片通過(guò)設(shè)置在該舟片一側(cè)的連接片與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的腔式石墨舟，其特征在于，每一舟片一側(cè)的連接片包括上下兩個(gè)，各舟片的連接片之間通過(guò)石墨隔塊隔離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的腔式石墨舟，其特征在于，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設(shè)有用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的腔式石墨舟，其特征在于，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個(gè)，每一端的兩所述支撐腳分別設(shè)置在所述左電極或右電極的兩側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述支撐腳底部設(shè)有與外部運(yùn)轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片數(shù)量為21-41片。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片上設(shè)有裝載硅片的硅片位，每個(gè)舟片上設(shè)有至少6個(gè)硅片位。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。