[發(fā)明專利]脆性材料基板的分?jǐn)喾椒坝糜谠摲椒ǖ幕宸謹(jǐn)嘌b置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110069579.3 | 申請日： | 2011-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN102219369A | 公開（公告）日： | 2011-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 池田剛史;山本幸司 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/08 | 分類號： | C03B33/08;B28D1/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 脆性 材料 方法 用于 基板分?jǐn)?/a> 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是關(guān)于由玻璃等脆性材料構(gòu)成的基板分?jǐn)喾椒ǎ貏e是關(guān)于對0.1mm以下的薄玻璃基板沿分?jǐn)囝A(yù)定線使激光光移動同時照射，將玻璃基板分?jǐn)酁閭€別的單位要素的方法。
背景技術(shù)
圖5顯示針對板厚為0.5mm以上的玻璃基板，在格子狀地形成刻劃槽后(交叉刻劃)將基板分?jǐn)酁閭€別的單位要素(制品)的場合的以往例的圖。一般在玻璃基板的板厚為0.5mm以上而較厚的場合，可對基板以激光照射形成刻劃槽(不貫通基板的裂痕)。
在此場合，先使刀輪等輕微沖撞玻璃基板G的一端緣形成觸發(fā)部T1(初期龜裂)。之后從已形成的觸發(fā)部T1往第1方向(X方向)掃瞄激光束的光束點，接著以追隨后方近處的方式噴射冷媒，利用基板內(nèi)的深度方向的熱應(yīng)力分布形成第1刻劃槽S1。其次，于玻璃基板G的與設(shè)有觸發(fā)部T1的端緣正交的端緣形成觸發(fā)部T2，從觸發(fā)部T2往與第1刻劃槽S1正交的第2方向(Y方向)利用深度方向的熱應(yīng)力形成第2刻劃槽S2。
所述第1刻劃槽S1、第2刻劃槽S2并非完全分?jǐn)嗷澹且园肭械臓顟B(tài)被保持。之后，通過施加外力使玻璃基板G彎曲并沿刻劃槽(裂痕)分?jǐn)啵〕鲂纬捎诨迳系膫€別的單位要素(制品)。
如上述操作而獲得的玻璃基板的單位要素之中，除形成有觸發(fā)部的端緣部分的單位要素G1外，占大多數(shù)的中間部分的單位要素G2(以交叉剖面線顯示的部分)無觸發(fā)部，形成有平滑且漂亮的分?jǐn)喽嗣妗Ｒ嗉矗|發(fā)部T1、T2在以激光束形成刻劃槽的場合雖是為了使龜裂進(jìn)展而為必要，但在分?jǐn)酁閱挝灰囟蔀橹破返膱龊希|發(fā)部會成為傷痕殘存。因此，觸發(fā)部殘存的區(qū)域的單位要素G1被從制品排除，從位于其余的區(qū)域的單位要素G2取出制品。
另一方面，若基板的板厚變薄成為0.3mm以下，玻璃基板內(nèi)的深度方向的熱應(yīng)力分布不易被形成，其結(jié)果，形成刻劃槽為困難。在板厚較薄的場合，例如揭示于專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2，若將玻璃基板局部性地加熱且將加熱后方近處冷卻，會因前后方向的熱應(yīng)力而以先形成于基板的端緣的觸發(fā)部為起點貫通基板的裂痕進(jìn)展。因此，已知基板會突然被完全分?jǐn)?全切)。
具體而言，是使用由激光束形成的光束點，對保持于平臺上的玻璃基板G使光束點相對移動同時從先于玻璃基板G的端緣形成的觸發(fā)部使光束點沿分?jǐn)囝A(yù)定線掃瞄并加熱。由此于分?jǐn)囝A(yù)定在線使壓縮應(yīng)力產(chǎn)生。接著，以冷卻機構(gòu)以追隨已被加熱的部分的方式急冷。如上述操作使壓縮應(yīng)力區(qū)域的后部產(chǎn)生拉伸應(yīng)力區(qū)域，以前后方向的應(yīng)力分布使貫通玻璃基板G的裂痕產(chǎn)生而分?jǐn)嗷濉Ｓ纱朔謹(jǐn)酁樾纬捎诨宓母鱾€別的單位要素(制品)。
專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-155159號公報。
專利文獻(xiàn)2：日本特開2001-170786號公報。
近年來，為了追求單位要素(制品)的輕量化，被要求使玻璃基板的板厚較薄。因此，逐漸使用板厚0.1mm以下的薄玻璃基板做為基板。
然而，若欲使用激光束于X-Y方向交叉切割，在于X方向或Y方向的任一方掃瞄激光束時，由于板厚非常薄而被完全分?jǐn)?全切)，無法交叉切割。因此，在使用此種薄玻璃基板的場合，如圖6中(a)所示，先于玻璃基板G的一端緣形成X方向用的觸發(fā)部T1，從此觸發(fā)部T1往X方向掃瞄激光束而將如圖6中(b)所示的長方形的玻璃基板G3完全分?jǐn)?全切)。其次，于長方形玻璃基板G3的端緣設(shè)Y方向用的觸發(fā)部T3，從此觸發(fā)部T3往Y方向掃瞄激光束而完全分?jǐn)?全切)為個別的單位要素。
如上述操作而被分?jǐn)嗟膯挝灰谿4是如圖6中(c)所示，于全部皆于激光束照射面?zhèn)鹊亩司売杏|發(fā)部T1或觸發(fā)部T3的痕跡殘留。觸發(fā)部的存在使外觀變差。因此，若將觸發(fā)部做為傷痕殘存的單位要素從制品排除，會連一個良品都無法獲得。
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