[發明專利]行駛臺車系統及其自我診斷方法

有效

• 申請號: 201110067620.3
• 申請日: 2011-03-21
• 公開（公告）號: CN102213963A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 林孝雄
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 龐乃媛;黃劍鋒

技術領域

本發明涉及行駛臺車系統的自我診斷。

背景技術

在半導體工廠等中使用著用橋式吊車等行駛臺車搬運FOUP(晶圓搬運盒)等物品的系統。這樣的系統中要求保持整個系統高的設備運轉率，不單單是搬運物品，還需要預防維護構成系統的行駛臺車和行駛軌道等地面側設備。另外，在本說明書中將行駛軌道、非接觸供電線路等行駛軌道的附帶設備、裝載口、物品臨時存放用的緩沖區(暫存區)等地面側設備稱為行駛臺車系統的“基礎設施”。

另外，關于行駛臺車系統的自我診斷，專利文獻1(JP4117625C)公開了從行駛臺車向系統控制器報告產生異常振動等，1)即使其他的行駛臺車在行駛軌道上的相同位置也再次發生異常時判別為基礎設施側異常、2)相同的行駛臺車即使在其他的位置上也再次發生異常時判別為行駛臺車側異常的技術。發明者研究了更準確地自我診斷系統的狀態、使預防性維修成為可能，獲得了本發明。

[專利文獻1]JP4117625C

發明內容

本發明的課題就是要更準確地自我診斷行駛臺車系統的狀態，預防故障的發生。

本發明為搭載了異常檢測用傳感器的多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告的系統，其特征在于：地面側控制器具備通過唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標、將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車的指定單元；行駛臺車具備用異常檢測用傳感器在指定的位置進行檢測、將包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告的報告單元。

并且本發明還是搭載有異常檢測用傳感器的多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告的行駛臺車系統的自我診斷方法，其特征在于：地面側控制器用唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車；行駛臺車在指定的位置用異常檢測用傳感器進行檢測，將包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告。

在本說明書中，有關行駛臺車系統的記載原封不動地適用于行駛臺車系統的自我診斷方法，反之，有關行駛臺車系統的自我診斷方法的記載原封不動地適用于行駛臺車系統。

在本發明中，由于能夠精確地指定進行檢測的位置，因此能夠準確地檢測行駛臺車和行駛路徑的狀態。因此在故障實際發生前就能夠維修、預防維護行駛臺車或行駛路徑。

優選地是，地面側控制器按預定的控制周期將目標位置指示給行駛臺車，并且在目標位置的指示的通信中指定進行檢測的位置；使行駛臺車到達指示的目標位置地按控制周期進行速度控制，并且在指定的位置處進行檢測。這樣一來，由于將進行檢測的位置包含在有關目標位置的指示的通信中，因此通信不會變復雜。并且，從地面控制器指示目標位置的系統中，行駛臺車和行路路徑的故障會帶來大的不良影響。通過對這樣的系統進行預防維護，能夠將系統的處理能力維持在高水平。

并且優選地是，在地面側控制器中設置有存儲單元，該存儲單元用于將上述傳感器的檢測數據與行駛臺車的至少速度和加速度關聯地進行存儲。由于檢測數據的意義依存于行駛臺車的速度和加速度，因此通過與這些數據相關聯進行存儲，能夠進行準確的分析。

并且優選地是，行駛臺車具備與行駛有關的異常檢測用傳感器以及與移載有關的異常檢測用傳感器；地面側控制器指定行駛路徑上的行駛軌道的接縫、分支部、匯合部和轉彎區間作為用與行駛有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置；并且對行駛臺車的移載裝置和地面側的移載設備指定移載物品的位置，作為用與移載有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置。這樣一來，對于行駛和移載，能夠精確地指定位置來檢測狀態。尤其能準確地檢測行駛軌道的接縫處的臺階的狀態等。

尤其優選地是，地面側控制器具備確定單元，該確定單元根據相同位置的多個行駛臺車的檢測數據、或者相同的行駛臺車在多個位置上的檢測數據，確定行駛路徑上的需要維修的地方以及需要維修的行駛臺車。在發現了異常或者其征兆時，根據是在行駛路徑的相同位置上再次發生還是在相同的行駛臺車上再次發生，能夠判別原因是在行駛路徑上還是在行駛臺車上。因此能夠確定需要維修的行駛路上的位置或者行駛臺車。

而且優選地是，地面側控制器具備用于時序分析檢測數據的時序分析單元。由于通過時序分析能夠檢測異常的征兆，因此能更確實地進行預防維護。