[發明專利]一種多晶硅鑄錠爐

無效

• 申請號: 201110062856.8
• 申請日: 2011-03-16
• 公開（公告）號: CN102127809A
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發明（設計）人: 陸國富
• 申請（專利權）人: 常州市萬陽光伏有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234
• 代理人: 張利強

1.一種多晶硅鑄錠爐，包括爐體、支架(1)，所述爐體固定在支架(1)上，所述爐體內設置有支撐板(6)，所述支撐板(6)上設置有坩堝(4)，其特征在于：所述爐體包括上爐體(2)、下爐體(3)，所述上爐體(2)、下爐體(3)之間連接有升降裝置，所述坩堝(4)外設置有發熱器(5)，所述發熱器(5)外扣罩有反射屏(8)。

2.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述升降裝置設置在支架(1)上，包括底座(9)、絲桿(11)、側固座(10)，所述底座(9)與支架(1)固定為一體，底座(9)內設有電機和連軸器，所述側固座(10)設置在下爐體(3)上，所述底座(9)與側固座(10)通過絲桿(11)連接。

3.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述升降裝置為三個，呈三角分布在爐體周邊。

4.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述上爐體(2)與下爐體(3)周邊設有卡扣(12)。

5.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述上爐體(2)上設置有頂蓋(13)，所述頂蓋(13)上設置有保護氣體進口(14)。

6.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述上爐體(2)一端設置有真空接口(15)。

7.如權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述發熱器(5)為石墨溫梯發熱器，發熱器(5)的電阻的厚度自上而下漸增。