[發(fā)明專利]一種精密的振鏡校正系統(tǒng)及校正方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110061492.1 | 申請日： | 2011-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN102152007A | 公開（公告）日： | 2011-08-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邱勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京金橙子科技有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/42 | 分類號： | B23K26/42 |
| 代理公司： | 北京方韜法業(yè)專利代理事務(wù)所 11303 | 代理人： | 吳景曾 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 精密 校正 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，它包括振鏡校正標(biāo)靶(31)，其特征在于：所述的精密的振鏡校正系統(tǒng)還包括：
一個(gè)二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)，該二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)設(shè)在振鏡校正標(biāo)靶(31)的底部；
對振鏡校正標(biāo)靶(31)上每個(gè)標(biāo)記點(diǎn)進(jìn)行圖像采集的CCD圖像采集裝置(33)，該CCD圖像采集裝置(33)安裝在二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)的上方；
用于控制二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)的運(yùn)動(dòng)，把振鏡校正標(biāo)靶(31)上的每個(gè)標(biāo)記點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到理論位置，對采集的圖像計(jì)算出每個(gè)標(biāo)記點(diǎn)的位置偏差，并輸出振鏡校正文件給振鏡控制系統(tǒng)(1)，對振鏡進(jìn)行校正的校正處理模塊(34)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，其特征在于：所述的精密的振鏡校正系統(tǒng)的測量精度為0.02-0.1毫米的定位精度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，其特征在于：所述的校正處理模塊(34)包括：
用于控制所述的二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)精確運(yùn)動(dòng)到指定位置的運(yùn)動(dòng)控制模塊(341)；
用于對CCD圖像采集裝置(33)采集的圖像進(jìn)行計(jì)算，計(jì)算出實(shí)際標(biāo)記點(diǎn)的位置與理論標(biāo)記點(diǎn)的位置的偏差的位置偏差計(jì)算模塊(342)；
用于把所述的位置偏差計(jì)算模塊(342)生成的結(jié)果輸出，用于振鏡校正的補(bǔ)償文件的振鏡補(bǔ)償模塊(343)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，其特征在于：所述的振鏡校正系統(tǒng)安裝在固定機(jī)座(4)上；所述的二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)包括Y直線電機(jī)(321)、X直線電機(jī)(322)及工作平臺(323)；所述的Y直線電機(jī)(321)設(shè)置在平面座標(biāo)系中的Y方向，X直線電機(jī)(322)設(shè)在X方向并設(shè)置在Y直線電機(jī)(321)的上方，工作平臺(323)設(shè)在Y直線電機(jī)(321)的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，其特征在于：所述的二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)采用直線電機(jī)或伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)為驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)，其特征在于：所述的CCD圖像采集裝置(33)包括CCD(331)、攝像鏡頭(332)和光源(333)，所述的攝像鏡頭(332)的一端固定在CCD(331)的一端上，CCD(331)的側(cè)面固定安裝在固定機(jī)座(4)上，為CCD(331)攝像采集提供光線照明的光源(333)固定安裝在固定機(jī)座(4)上。
7.一種應(yīng)用權(quán)利要求1所述的一種精密的振鏡校正系統(tǒng)對振鏡進(jìn)行校正的方法，其特征在于：所述的校正方法包括以下的步驟：
(1)先把要校正的振鏡在加工振鏡校正標(biāo)靶(31)上標(biāo)記出所有的標(biāo)記點(diǎn)；
(2)把振鏡校正標(biāo)靶(31)安裝固定在二維運(yùn)動(dòng)平臺(32)的工作平臺(323)上；
(3)通過校正處理模塊(34)控制移動(dòng)Y直線電機(jī)(321)、X直線電機(jī)(322)，使安裝在工作平臺(323)上的振鏡校正標(biāo)靶(31)移動(dòng)到理論標(biāo)記點(diǎn)位置；
(4)由CCD圖像采集裝置(33)采集當(dāng)前標(biāo)記點(diǎn)圖像；
(5)由校正處理模塊(34)對采集的圖像進(jìn)行計(jì)算，得出實(shí)際標(biāo)記點(diǎn)與理論標(biāo)記點(diǎn)的位置誤差；
(6)如果還有標(biāo)記點(diǎn)沒有采集處理完畢，則返回步驟(3)，重新執(zhí)行下一個(gè)標(biāo)記點(diǎn)的采集和處理；
(7)全部標(biāo)記點(diǎn)處理完畢后，由校正處理模塊(34)輸出振鏡補(bǔ)償文件給振鏡控制系統(tǒng)(1)，對振鏡進(jìn)行校正。
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