[發明專利]鍍膜裝置

無效

• 申請號: 201110051076.3
• 申請日: 2011-03-03
• 公開（公告）號: CN102653854A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 吳佳穎;廖名揚
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鍍膜裝置，其包括一個腔體、一個轉盤、至少一個工件掛具及至少一個靶體，所述轉盤、工件掛具及所述靶體設于腔體內，其特征在于，所述工件掛具包括一個定位軸、兩個偏心輪、一個保持架、兩個往復軸及一個承載板，所述定位軸及保持架設置于所述轉盤上，且彼此能夠相對轉動，所述兩個偏心輪的軸心沿所述定位軸的軸向固定于所述定位軸上，且偏心方向相反，所述各偏心輪的邊緣設有一環形滑槽，所述保持架收容所述偏心輪及所述定位軸，所述定位軸固定連接于所述轉盤上，所述保持架隨所述轉盤一起轉動且能夠沿保持架自身中心軸轉動，所述兩個往復軸分別對應所述兩個偏心輪滑動設置于所述保持架上，所述各往復軸一端可滑動地卡合于所述偏心輪的環形滑槽內，另一端轉動連接于所述承載板一端部，當所述保持架相對所述定位軸轉動時，所述兩個偏心輪分別驅動所述兩個往復軸沿所述定位軸的徑向作往復運動，且所述兩個往復軸的運動方向相反。

2.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述第一偏心輪與所述第二偏心輪的外廓為正圓。

3.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述保持架包括第一環形架、第二環形架及連接件，所述連接件連接于所述第一環形架及所述第二環形架之間，所述第一環形架及所述第二環形架分別套設于所述第一偏心輪及所述第二偏心輪外側，所述第一環形架及所述第二環形架分別相對所述第一偏心輪及所述第二偏心輪的環形滑槽開設軸孔。

4.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述往復軸是一圓柱軸。

5.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述往復軸包括滑動部、樞接部及軸體，所述滑動部及所述樞接部相對固定于所述軸體兩端，所述滑動部卡合于所述環形滑槽內，在所述環形滑槽內滑動，所述樞接部與所述承載板一端轉動連接。

6.如權利要求5所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述滑動部及所述樞接部螺接于所述軸體兩端。

7.如權利要求5所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述滑動部是一T型滑塊結構，所述樞接部是一轉軸結構。

8.如權利要求5所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述承載板包括底面，所述底面的兩端設置有兩個連接部，所述連接部與所述往復軸的樞接部轉動連接。

9.如權利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述連接部是與所述往復軸的樞接部相配合的開口軸套結構。