[發明專利]鄰近曝光裝置、載臺溫度控制方法及面板基板的制造方法

無效

• 申請號: 201110046021.3
• 申請日: 2011-02-23
• 公開（公告）號: CN102193326A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 峯岸學;佐藤隆悟;山家佑太;枝木一郎;渡邉啓
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高科技
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/77
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發明涉及一種在液晶顯示器(display)裝置等的顯示用面板(panel)基板的制造中，使用鄰近(proximity)方式來進行基板的曝光的鄰近曝光裝置、鄰近曝光裝置的載臺溫度控制方法以及使用這些裝置和方法的顯示用面板基板的制造方法，尤其是涉及一種通過線性馬達(linear?motor)來驅動用來移動基板的載臺的鄰近曝光裝置、鄰近曝光裝置的載臺溫度控制方法以及使用這些裝置和方法的顯示用面板基板的制造方法。

背景技術

用作顯示用面板的液晶顯示器裝置的薄膜晶體管(Thin?FilmTransistor，TFT)基板或彩色濾光器(color?filter)基板、等離子體(plasma)顯示器面板用基板、有機電致發光(Electroluminescence，EL)顯示面板用基板等的制造是使用曝光裝置，通過光刻(photolithography)技術在基板上形成圖案(pattern)而進行。作為曝光裝置，有使用透鏡(lens)或鏡子來將罩幕層(mask)的圖案投影到基板上的投影(projection)方式、以及在罩幕層與基板之間設置微小的間隙(鄰近間隙(proximitygap))而將罩幕層的圖案轉印到基板上的鄰近方式。與投影方式相比，鄰近方式的圖案析象性能較差，但是照射光學系統的結構簡單，且處理能力高，適合于量產用途。

近年來，在顯示用面板的各種基板的制造中，為了對應于大型化以及尺寸的多樣化，須準備相對較大的基板，并根據顯示用面板的尺寸來從1片基板中制造出1片或多片顯示用面板基板。此時，對于鄰近方式而言，如果要包括曝光基板的一面，則需要與基板相同大小的罩幕層，從而導致高價的罩幕層成本(cost)進一步增大。因此，使用相對于基板較小的罩幕層，通過載臺來使基板向XY方向步進移動，將基板的一面分成多次照射(shot)來進行曝光的方式成為主流。

以往，在鄰近曝光裝置中，對于載臺的驅動使用滾珠螺桿(ball?screw)等的進給螺桿。但是，隨著顯示用面板的大畫面化，基板越大型化，要讓基板的移動高速且高精度地進行的要求越強烈，而以往的載臺對于移動基板的速度以及精度的提高有限。

作為取代進給螺桿的機構，開發出了一種使用內置有磁鐵或線圈(coil)的定子和內置有線圈或磁鐵的轉子的線性馬達。定子與轉子被設置成隔著微小的間隙而不接觸，當電流流經線圈時，根據弗萊明左手定則(Fleming′s?left-hand?rule)，由線圈的電流與磁鐵的磁場對轉子產生推力(洛倫茲力(Lorentz?force))。由于定子與轉子為非接觸而無摩擦，因此可實現高速且高精度的移動。作為使用此種線性馬達的鄰近曝光裝置，在專利文獻1以及專利文獻2中有所記載。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-258195號公報

[專利文獻2]日本專利特開2009-258196號公報

在鄰近曝光裝置中，當通過線性馬達來驅動移動基板的載臺時，載臺的重量會變大而移動距離也變長，因此線性馬達的負載大，從線性馬達產生大量的熱。因此，在通常的運轉時與停止基板的供給而停止載臺的移動時，載臺的溫度會發生較大變化。一旦載臺的溫度發生較大變化，則因熱膨脹引起的載臺的變形量會發生較大變化，因此由載臺所移動的基板的位置以及相對于水平方向的斜度會發生變動，從而存在圖案的燒附精度下降的問題。

由此可見，上述現有技術在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新型結構的鄰近曝光裝置、載臺溫度控制方法及面板基板的制造方法，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。

發明內容

本發明的目的在于，克服現有技術存在的缺陷，而提供一種新型結構的鄰近曝光裝置、載臺溫度控制方法，所要解決的技術問題是使其在鄰近曝光裝置中，當通過線性馬達來驅動用來移動基板的載臺時，可減小載臺的溫度變化，以精度良好地進行圖案的燒附，非常適于實用。

本發明的目的在于，克服現有技術存在的缺陷，而提供一種新型結構的面板基板的制造方法，所要解決的技術問題是使其精度良好地進行圖案的燒附，從而制造高品質的顯示用面板基板。