[發明專利]硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置及方法

有效

• 申請號: 201110041395.6
• 申請日: 2011-02-23
• 公開（公告）號: CN102161486A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 丁輝;張瑞玲;羅偉;王哲;吳巍;李鑫鋼
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B33/02
• 分類號: C01B33/02;C01B33/037;C01B31/36;B01D57/02;C10M175/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 王麗

1.一種硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置，其特征是：進口管(1)連接到垂直電泳槽筒體(2)上，在垂直電泳槽中上方為陽極電極管(3)下方為陰極電極管(4)，陽極電極管由一根主電極管和相垂直的副電極管組成，陽極電極管下方有小孔，陽極電極管主電極管出口連接硅出口管(5)，硅出口管另一側連接硅出口泵(6)，硅出口泵連接到硅回收罐(7)中；陰極電極管也是由一根主電極管和相垂直的副電極管組成，陰極電極管上方有小孔，陰極電極管主電極管連接碳化硅出口管(8)，碳化硅出口管另一側連接碳化硅出口泵(9)，碳化硅出口泵連接到碳化硅回收罐(10)中，外置電源(11)正極連接到陽極電極管上，負極連接到陰極電極管上。

2.一種硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收方法，其特征是步驟如下：

(1)將硅片切割廢砂漿進行固液分離；得到的固相沉積物加入酸溶液去除金屬雜質，除雜后的固相物加入重液進行超聲振蕩分散，其比例為1∶2～1∶10g/mL；分散過程中加入固相量0.1％-1.5％w/v分散劑，得到廢砂漿重液懸浮液；

(2)將重液懸浮液的pH調節至2.5-3.5，由分離裝置進口管(1)進入垂直電泳分離槽(2)中；由外置電源(11)接通電泳槽中的電極管；垂直電泳槽上方為陽極電極管(3)，下方為陰極電極管(4)；電壓控制在1V-10V；在懸浮力和電場力的共同作用下，陽極電極附近蓄積了一些硅粒子，在硅出口泵(6)的抽力作用下通過陽極電極管(3)下方的小孔進入電極管主管內，由泵泵出電泳槽，通過硅出口管(5)到硅回收罐內(7)；陰極電極管(4)附近蓄積了一些碳化硅粒子，在碳化硅出口泵(9)的抽力作用下通過陰極電極管上方的小孔進入電極管主管內，由泵泵出電泳槽，通過碳化硅出口管(8)到碳化硅回收罐內(10)。

3.根據權利要求書2所述的方法，其特征為：所述的重液為多鎢酸鈉溶液或烷基咪唑類離子液體；均為不揮發的無毒性液體。

4.根據權利要求書2所述的方法，其特征為：所述的分散劑為阿拉伯樹膠、硅溶膠、聚丙烯酸銨、六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉、聚丙烯酸鈉或聚乙烯醇中的一種或多種。