[發明專利]單元集合中的單元及其制造方法無效
| 申請號： | 201110037537.1 | 申請日： | 2008-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN102194799A | 公開（公告）日： | 2011-09-21 |
| 發明（設計）人： | 薩姆·齊昆·趙;鐘重華;雷澤厄·拉曼·卡恩 | 申請（專利權）人： | 美國博通公司 |
| 主分類號： | H01L23/58 | 分類號： | H01L23/58;H01L21/78 |
| 代理公司： | 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡曉紅 |
| 地址： | 美國加州爾灣市奧爾頓公*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單元 集合 中的 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種單元集合中的單元，其特征在于，包括
功能區域；及
防止裂紋蔓延至所述功能區域的防護結構。
2.根據權利要求1所述的單元，其特征在于，所述防護結構用于防止切割分離工序中造成的裂紋蔓延至所述功能區域。
3.根據權利要求1所述的單元，其特征在于，所述防護結構形成在所述單元在切割分離工序中的受壓區域。
4.根據權利要求1所述的單元，其特征在于，所述防護結構沿所述單元集合的單元之間的邊界形成。
5.根據權利要求1所述的單元，其特征在于，所述防護結構包括在所述單元表面形成的圖案。
6.根據權利要求5所述的單元，其特征在于，所述防護結構包括從以下形式中選擇的圖案：網格、多根線條和多個剖切面。
7.根據權利要求6所述的單元，其特征在于，所述防護結構包括金屬材料。
8.根據權利要求5所述的單元，其特征在于，所述單元包括多層，其中所述表面是第一層的表面，所述防護結構還包括在第二層的表面形成的第二圖案。
9.一種制造單元條帶中的單元的方法，其特征在于，包括：
形成功能區域；及
形成用于防止裂紋蔓延至所述功能區域中的防護結構。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法還包括布圖所述單元，其中所述布圖所述單元包括：
布圖所述功能區域；及
布圖所述防護結構。
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